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一、產(chǎn)品特點(diǎn)

■  高精度橢偏測量解決方案,；

■  超高精度,、快速無損測量；

■  支持多角度,、微光斑,、可視化調(diào)平系統(tǒng)功能模塊靈活定制；

■  豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,，保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力,。

■ 采用高性能進(jìn)口復(fù)合光源,，光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm)，可支持?jǐn)U展紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)

■  高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制,、PCRSA配置,，實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集；

■ 支持系列配置靈活,，可根據(jù)不同應(yīng)用場景支持多功能模塊化定制,；

■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,，涵蓋了目前絕大部分的光電材料,；

二、技術(shù)規(guī)格