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一,、產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm),；

■ 可實(shí)現(xiàn)穆勒矩陣數(shù)據(jù)處理,，測(cè)量信息量更大，測(cè)量速度快,、數(shù)據(jù)更加精準(zhǔn),；

■ 基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器配置，可一次測(cè)量獲得全穆勒矩陣的16個(gè)元素,，相對(duì)傳統(tǒng)光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面測(cè)量信息,；

■ 頤光技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi)，提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜,；

■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫,、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料,；

■ 集成對(duì)納米光柵的分析,，可同時(shí)測(cè)量分析納米結(jié)構(gòu)周期、線寬,、線高,、側(cè)壁角、粗糙度等幾何形貌信息,；

二,、技術(shù)規(guī)格