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一,、產(chǎn)品特點

■ 采用氘燈和鹵素燈復合光源,，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)；

■ 可實現(xiàn)穆勒矩陣數(shù)據(jù)處理,，測量信息量更大,，測量速度快、數(shù)據(jù)更加精準,；

■ 基于雙旋轉補償器配置,，可一次測量獲得全穆勒矩陣的16個元素，相對傳統(tǒng)光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面測量信息,；

■ 頤光技術確保在寬光譜范圍內,，提供優(yōu)質穩(wěn)定的各波段光譜；

■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫,、多種算法模型庫,，涵蓋了目前絕大部分的光電材料；

■ 集成對納米光柵的分析,，可同時測量分析納米結構周期,、線寬、線高,、側壁角,、粗糙度等幾何形貌信息,；

二、技術規(guī)格