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大流量氣體質(zhì)量流量控制器的行業(yè)應用和技術(shù)特點

時間:2020/6/17閱讀:1619
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大流量氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流進行精密測量和控制,。它們在半導體集成電路工業(yè),、特種材料學科、化學工業(yè),、石油工業(yè),、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,。典型應用場合有微反應裝置,、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量,、氣象色譜儀以及其他分析儀器。

技術(shù)特點

微處理器控制
內(nèi)部采用可編程未處理器控制,,使用PID控制,,可實現(xiàn)不同工況條件下進行高速精確的流量控制。

緊湊的外形尺寸
尺寸非常小巧緊湊,,用戶使用時,,不但能夠減小系統(tǒng)體積和重量,,同時能夠集成更多的功能模塊。

多氣體多量程選擇
內(nèi)部設(shè)置了多種氣體模式(H2,、N2,、Air、He等),,用戶可根據(jù)用戶手冊及使用需求進行操作選擇,。同時,本公司提供擇不同量程MFC產(chǎn)品,,用戶可根據(jù)需求進行選,。

RS-484總線接口
內(nèi)置RS-485總線接口,可選擇使用RS-485控制或按鍵控制兩種模式,??赏ㄟ^RS-485總線組網(wǎng),實現(xiàn)多臺MFC同時控制,。

可獨立運行
上電后即可使用,,用戶可通過按鍵直接對MFC進行操作,無需連接其他外部電路,、PC,、PLC等設(shè)備。

便捷標定方法
GT130DMAX大流量氣體質(zhì)量流量控制器可通過標定軟件對MFC進行標定,,只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進行標定,。 

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