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產(chǎn)品名稱:LTC600 光譜共焦位移傳感器
品牌:無錫泓川科技
型號:LTC600(超精密型)
泓川光譜共焦傳感器光斑直徑8um精度0.2um
泓川光譜共焦傳感器光斑直徑8um精度0.2um
LTC600光譜共焦位移傳感器是無錫泓川科技推出的高精度非接觸式測量解決方案,,專為工業(yè)檢測與精密制造場景設(shè)計?;谙冗M的光譜共焦技術(shù),,其具備亞微米級測量精度、超小光斑直徑及抗干擾能力強等核心優(yōu)勢,,適用于鏡面,、透明/半透明材料、多層膜厚,、深孔內(nèi)壁等復(fù)雜表面及高反光場景的精密測量。
超高精度
靜態(tài)噪聲低至 16nm,,線性誤差 <±0.18μm,,確保重復(fù)性與穩(wěn)定性。
光斑直徑僅 Φ8μm(聚焦型),,可精準捕捉微觀形變與邊緣特征,。
復(fù)雜場景適應(yīng)性
支持 ±32.5° 超大測量角度,輕松應(yīng)對曲面,、深孔,、內(nèi)壁等復(fù)雜結(jié)構(gòu)。
兼容鏡面,、透明材料(如玻璃,、薄膜)、多層膠合體等,,實現(xiàn)多層厚度同步測量,。
高速響應(yīng)
采樣速率高達 30kHz,滿足動態(tài)高速檢測需求,,如晶圓位置校準,、產(chǎn)線實時監(jiān)測。
緊湊耐用
外徑僅 φ20×110mm,重量 73g,,輕量化設(shè)計適配狹小空間安裝,。
抗環(huán)境光干擾,適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場復(fù)雜工況,。
參數(shù) | 指標 |
---|---|
測量范圍 | ±0.3mm |
參考距離 | 20mm |
光斑直徑(聚焦型) | Φ8μm |
線性誤差 | <±0.18μm |
靜態(tài)噪聲 | 16nm |
采樣速率 | 最高30kHz |
工作溫度 | 0°C ~ +50°C |
接口支持 | USB/RS485/以太網(wǎng)/模擬量/數(shù)字量 |
精密制造:晶圓位置校準,、金屬部件跳動量檢測、模具磨損監(jiān)測,。
透明材料檢測:玻璃管壁厚度,、多層膠合玻璃/膜層厚度測量。
3C行業(yè):曲面屏輪廓掃描,、手機屏幕平整度檢測,。
自動化產(chǎn)線:涂布厚度控制、壓延玻璃實時測厚,。
控制器支持:多通道同步測量(單通道10kHz),,兼容EtherCAT、Modbus等工業(yè)協(xié)議,,提供PC端軟件及二次開發(fā)包,,無縫集成自動化系統(tǒng)。
定制服務(wù):可根據(jù)需求提供側(cè)向出光(LTCR系列)等特殊型號,,適配深孔,、內(nèi)壁檢測場景。
無錫泓川科技專注光學測量領(lǐng)域,,LTC600以納米級標定驗證與工業(yè)級可靠性,為高DUAN制造,、半導(dǎo)體,、3C等行業(yè)提供精準、高效的測量保障,。支持定制化服務(wù),,滿足多樣化檢測需求。
關(guān)鍵詞:光譜共焦傳感器,、非接觸測量,、亞微米精度、透明材料測厚,、工業(yè)自動化
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