日本昭和ssvi直線電動(dòng)機(jī)式主動(dòng)隔振裝置VAAV-S
使用原始的主動(dòng)隔振算法進(jìn)行高速計(jì)算,，并且不使用空氣的超高速響應(yīng)線性致動(dòng)器和超靈敏的速度傳感器立即消除了振動(dòng)。
由于空氣彈簧僅用于負(fù)載支撐,，因此,，如果壓縮機(jī)和電源較小，則使用超靈敏的速度傳感器進(jìn)行前饋可提供世界上gao水平的隔振性能,，該傳感器也安裝在地面?zhèn)取?/p>
此外,，與VAAV-L系列一樣，使用了柔軟的空氣彈簧，從而實(shí)現(xiàn)了該系列中g(shù)ao的隔振性能,。
日本昭和ssvi直線電動(dòng)機(jī)式主動(dòng)隔振裝置VAAV-S
- 無共振的振動(dòng)傳遞特性,。
由于它配備了VAAV系列中柔軟的空氣彈簧，因此具有該系列中g(shù)ao的隔振性能,。 - 由于它是線性電動(dòng)機(jī)控制,，因此消耗的空氣更少。（相當(dāng)于被動(dòng)隔振表）
- 它特別適用于對(duì)振動(dòng)敏感的精密測量儀器,，以及針對(duì)低頻振動(dòng)較大的安裝環(huán)境的抗振動(dòng)措施,。
- VAAV系列中g(shù)ao的性價(jià)比。
- 振動(dòng)波形顯示分析軟件是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備,。
- 電子顯微鏡可防止高倍率圖像因振動(dòng)而晃動(dòng),。該主動(dòng)隔振臺(tái)對(duì)于不喜歡被動(dòng)隔振臺(tái)無法消除的低頻振動(dòng)的顯微鏡有效。
- 它用作對(duì)振動(dòng)特別敏感的設(shè)備的振動(dòng)對(duì)策,，例如掃描隧道顯微鏡,，原子力顯微鏡和光學(xué)測量設(shè)備。
- 低頻振動(dòng)大的安裝地面環(huán)境的防振措施
| 模型 | 可安裝質(zhì)量（1個(gè)單位） | 尺寸（1個(gè)單位） |
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| VAAV-1000S | 500-1700公斤 | 190（寬）x 190（深）x 178（高）mm |
控制器
SEC-03 | 335（寬）x 410（深）x 130（高）mm |
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| 控制自由 | 3軸6自由度 |
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| 振動(dòng)傳遞函數(shù) | 參見下面的圖1和圖2 |
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| 所需氣源 | 0.5MPa以上消耗流量相當(dāng)于被動(dòng) |
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| 所需功率 | AC100V-240V 200VA（單相） |
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| 控制方式 | 速度反饋,，地板前饋 |
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| 大推力 | 水平：20N垂直：40N注）當(dāng)用作4個(gè)單位/單位時(shí) |
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| 產(chǎn)生的磁場 | 0.04μT以下注）距本機(jī)150mm處的交流磁場 |
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