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詳細(xì)介紹
日本filmetrics自動膜厚測量系統(tǒng)F50
F50自動測繪膜厚測量系統(tǒng)是將基于光學(xué)干涉原理的膜厚測量功能與自動高速載物臺相結(jié)合的系統(tǒng),。
以過去無法想象的速度測量點(diǎn)的膜厚和折射率,。它支持從2英寸到450毫米的硅基板，并且可以任何測量點(diǎn),。
還有與大型玻璃基板兼容的可選產(chǎn)品,。
主要特點(diǎn)
結(jié)合基于光學(xué)干涉原理的膜厚測量功能和自動高速載物臺的系統(tǒng)
以過去無法想象的速度測量點(diǎn)的膜厚和折射率
兼容2英寸至450毫米的硅基板，可任何測量點(diǎn)
日本filmetrics自動膜厚測量系統(tǒng)F50
主要應(yīng)用
| 半導(dǎo)體 | 抗蝕劑,、氧化膜,、氮化膜,、非晶/多晶硅、拋光硅片,、化合物半導(dǎo)體襯底,、?T襯底等。 |
|---|---|
| 平板 | 單元間隙,、聚酰亞胺,、ITO、AR膜,、 各種光學(xué)膜等,。 |
| 薄膜太陽能電池 | CdTe、CIGS,、非晶硅等 |
| 引 | 砷化鋁鎵（AlGaAs）,、磷化鎵（GaP）等 |
測量示例
薄膜厚度分析 FIL Mapper 軟件具有強(qiáng)大而*的薄膜厚度分析算法和可以讓您輕松測量點(diǎn)的功能。
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