日本特許機(jī)器tokkyokiki臺式主動隔振臺TA

一種不需要空氣的小型主動隔振器,。從低頻到高頻都具有優(yōu)良的隔振性能。

特征

• 在垂直方向 (Z),、水平 2 個方向 (X, Y) 和每個旋轉(zhuǎn)方向上激活 6 個自由度的控件,。
• 無論安裝設(shè)備的重量（平均負(fù)載 0 至 100 kg）和重心位置如何，都可以發(fā)揮穩(wěn)定的隔振效果,。
• 配備自動調(diào)平機(jī)構(gòu),，可在啟動時檢測車載設(shè)備的重心位置，并自動調(diào)整最佳控制平衡,。
• 消除可能產(chǎn)生灰塵的部件并支持無塵室的使用,。
• 面板采用VFD（真空熒光顯示器），視角廣,，容易看清,。此外，它還具有光源開/關(guān)功能,，可在暗室中使用,。

用途

• AFM（原子力顯微鏡）、SPM（掃描探針顯微鏡）,。
• 激光顯微鏡,，激光干涉儀。
• 顯微硬度計,。
• 其他各種精密精密測量儀器。

日本特許機(jī)器tokkyokiki臺式主動隔振臺TA

規(guī)格