日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541
ST-3541采用“無源型",，探頭中沒有內(nèi)置電路,。因此,，穩(wěn)定性大大提高,。此外,，由于沒有電路部件,，因此緊湊且具有用于結(jié)合的z佳結(jié)構(gòu),。
它是納米位移測量,，精密工作臺位置檢測/姿態(tài)控制，平面度和厚度測量的理想選擇,。

日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

ST-3541采用“無源型”,，探頭中沒有內(nèi)置電路。因此,，穩(wěn)定性大大提高,。此外，由于沒有電路部件,，因此緊湊且具有用于結(jié)合的z佳結(jié)構(gòu),。
它是納米位移測量，精密工作臺位置檢測/姿態(tài)控制,，平面度和厚度測量的理想選擇,。

特征

出色的高穩(wěn)定性

下圖是在25測量在恒溫浴組穩(wěn)定性的一例℃,。
您可以看到已經(jīng)進行了12小時的長時間穩(wěn)定測量。

實現(xiàn)高分辨率測量

大分辨率0.3nm-rms下
圖顯示了由步進電信號驅(qū)動的壓電元件的位移,。
即使只有1 nm的小步進信號,，也可以很好地檢查響應(yīng)。

• 1nm步進
  波形：頻率0.15Hz步進寬度1nm,。
  頻段設(shè)定：100Hz

優(yōu)異的線性度0.05％

通過使用不需要線性化器的測量方法,，可以實現(xiàn)出色的線性度。

• 
  較小的探頭使安裝更容易由于探頭主體沒有內(nèi)置電路,，因此尺寸已大大減小,。
  這大大擴展了結(jié)合到測量系統(tǒng)中的自由度。
• 使用的連接電纜,，可以
  在通道之間進行同步操作,。即使使用多臺設(shè)備，也可以通過連接通道進行同步操作,。同步操作可防止通道之間的干擾并穩(wěn)定測量結(jié)果,。
• 您可以減少系統(tǒng)構(gòu)建的成本。
  當使用多個通道時,，只有通過按需供電才可以擴展,，因此可以降低系統(tǒng)構(gòu)建成本。

可以在真空中進行測量

通過使用與真空兼容的定制探頭,，可以測量真空中的位移,。

日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

應(yīng)用領(lǐng)域

• 精密定位，位置檢測,，半導(dǎo)體的姿態(tài)控制,，精密處理，顯微鏡等
• 壓電元件的振動和振幅測量等
• 硅片,，金屬板,，精密加工零件等的平面度和厚度測量
• 測量軸跳動，表面跳動和精密電機的圓度等
• 納米位移測量