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日本yamamoto-ms電鍍?nèi)芤簯?yīng)力測試設(shè)備解析

通過用傳感器測量基板的應(yīng)變,，實(shí)時(shí)測量鍍層的內(nèi)應(yīng)力。

可以通過一次測量測量每個(gè)電鍍時(shí)間的應(yīng)力（膜厚）,。也可以在已鍍過一次的薄膜上重新鍍時(shí)測量應(yīng)力,。可以測量微小的壓力，這是傳統(tǒng)壓力計(jì)無法實(shí)現(xiàn)的,。精密電鍍電源YPP系列的插槽中插入專用的應(yīng)力計(jì)板以供使用,。

特征

● 符合JIS H8626 標(biāo)準(zhǔn)。
● 即使在微弱的壓力下也能進(jìn)行測量,。適用于測量薄膜和晶圓等薄弱產(chǎn)品,。（從0.5μm以上的膜厚開始可以進(jìn)行精密測量）
●也可以測量其他方法無法測量的初始應(yīng)力。
● 適用于精細(xì)零件,。
● 傳感器獲得的數(shù)據(jù)立即輸入到與電源相連的PC 上,，PC 自動計(jì)算出應(yīng)力值，無需任何計(jì)算,。此外,，正在測量的數(shù)據(jù)使用個(gè)人計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)顯示和累積。

電源及壓力測量板規(guī)格