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您是否正在尋找便宜且簡單的濺射設(shè)備,？

MSP-Mini僅使用一個按鈕自動涂覆,。這是一種具有出色成本性能的設(shè)備。
該目標(biāo)是一種消耗量的,，使用尺寸較?。é?2mm），使運行成本較低,。

AU目標(biāo)作為標(biāo)準(zhǔn),。它證明了其對低磁化觀測臺SEMS進行預(yù)處理的能力。
可選的AG膜具有出色的光澤,，并且可以輕松觀察光學(xué)顯微鏡下透明材料的表面,。

小型磁控濺射裝置 MSP-MINI 核心優(yōu)勢

1. 緊湊設(shè)計，空間利用率高

• 體積小巧,，占地面積僅為傳統(tǒng)設(shè)備的1/3,，適配高校實驗室、科研院所或小型企業(yè)等空間有限的環(huán)境,。

• 一體化集成設(shè)計,，減少外接組件需求，安裝靈活,，輕松融入現(xiàn)有實驗平臺,。

2. 操作簡便，快速上手

• 配備智能觸控界面,，參數(shù)設(shè)置直觀清晰,，無需復(fù)雜培訓(xùn)即可獨立操作。

• 全自動真空控制系統(tǒng),，一鍵啟動鍍膜流程,，顯著降低人為操作誤差。

• 支持多組工藝參數(shù)存儲,，實驗條件快速切換,，提升研發(fā)效率。

3. 高性價比,，低使用成本

• 相比大型設(shè)備,，采購成本降低50%以上，適合預(yù)算有限的用戶,。

• 功耗低（<2kW）,，靶材利用率高，維護成本可控,，長期使用經(jīng)濟性顯著,。

• 模塊化設(shè)計，關(guān)鍵部件可單獨更換,，避免整機維修的高昂費用,。

4. 穩(wěn)定鍍膜，性能優(yōu)異

• 磁控濺射工藝成熟,，膜層均勻性達±5%以內(nèi),，致密性好，附著力強,。

• 支持多種靶材（金屬,、合金、氧化物等）,，滿足導(dǎo)電膜,、光學(xué)膜、防腐涂層等多樣化需求,。

• 基片兼容性強,，可處理直徑≤4英寸的樣品，適用于微納器件,、傳感器等小型化產(chǎn)品,。

5. 安全可靠，綠色環(huán)保

• 多重安全防護機制：真空異常報警,、過流保護,、防濺射短路設(shè)計，保障實驗安全,。

• 封閉式濺射腔體,，有效防止粉塵和氣體泄漏,，符合實驗室環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。

6. 科研與教學(xué)雙重適配

• 為材料科學(xué),、電子工程等學(xué)科提供實踐平臺,，助力學(xué)生理解鍍膜技術(shù)原理。

• 支持小批量試生產(chǎn),，幫助初創(chuàng)企業(yè)快速驗證工藝,，縮短研發(fā)周期。

7. 擴展靈活,，升級無憂

• 可選配射頻電源,、加熱基片臺等模塊，拓展功能至絕緣材料鍍膜或高溫成膜,。

• 提供定制化服務(wù),，根據(jù)需求調(diào)整腔體尺寸或靶位數(shù)量。

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應(yīng)用場景示例

? 高校實驗室：薄膜制備教學(xué),、新材料研發(fā)
? 企業(yè)研發(fā)中心：電子元件表面改性,、光學(xué)器件鍍膜
? 創(chuàng)客工坊：微型傳感器、柔性電子器件開發(fā)

MSP-MINI設(shè)備規(guī)格

物品	規(guī)格
電源	AC100V,，10A 3核插頭,，用接地線
設(shè)備尺寸	寬度180mm，深度270mm,，高度183mm （設(shè)備重4.2kg）
旋轉(zhuǎn)泵	排氣速度：5 l/min（G-5DA） （泵重量：5.5kg） 旋轉(zhuǎn)泵油（SMR-100）用法：180 ml
樣品室大小	內(nèi)徑86mm,，高度60mm（硬玻璃）
樣本階段尺寸	φ83mm 樣品量有效直徑φ30mm，高度20mm
目標(biāo)	φ30mm磁石電極 AU（標(biāo)準(zhǔn)）,，可選（Ag）

MSP-Mini消耗品和零件清單

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