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電子顯微鏡樣品導(dǎo)電薄膜制造裝置-鋨等離子體鍍膜機(jī)
閱讀:290 發(fā)布時(shí)間:2024-12-25電子顯微鏡樣品導(dǎo)電薄膜制造裝置-鋨等離子體鍍膜機(jī)
用鋨離子鍍膜 機(jī)電鏡觀察 解決您的難題,! 它對(duì)于防止充電,、減少顆粒感和熱損傷非常有效。 ![]() |
鋨等離子鍍膜機(jī)是一種主要用于SEM樣品的導(dǎo)電薄膜生產(chǎn)裝置,,采用“使用直流輝光放電的負(fù)輝光相區(qū)域的等離子成膜方法",。導(dǎo)電鋨薄膜可以使用獲得的直流等離子體CVD方法形成(在負(fù)輝光相區(qū)域內(nèi)成膜)。自動(dòng)操作允許任何人安全地沉積鋨薄膜并具有良好的再現(xiàn)性,。 該產(chǎn)品陣容包括鋨薄膜專用型號(hào)和配備使用萘的等離子聚合膜機(jī)構(gòu)的兩用型號(hào),。可選配超薄膜形成機(jī)構(gòu),、親水處理機(jī)構(gòu),、深樣品機(jī)構(gòu),支持各種應(yīng)用,。 此外,,除了傳統(tǒng)的開關(guān)型外,鋨薄膜型號(hào)的產(chǎn)品陣容中還新增了觸摸屏型,。 | ![]() |
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對(duì)于要用掃描電子顯微鏡(SEM)拍照的樣品,,必須在樣品表面形成導(dǎo)電薄膜,以防止其因電子束照射而帶電,。 傳統(tǒng)上,,導(dǎo)電薄膜是使用濺射或金氣相沉積方法形成的。然而,,人們擔(dān)心樣品表面的顆粒度以及樣品熱損傷造成的損壞,。 因此,Philgen 開發(fā)了鋨等離子體鍍膜機(jī),,這是一種可以利用直流等離子體 CVD(負(fù)輝光相區(qū)域成膜)方法形成導(dǎo)電鋨薄膜的設(shè)備,。 當(dāng)將少量4氧化鋨(OsO4)氣體/萘氣體(C10H18)引入真空室中并發(fā)生輝光放電時(shí),瞬間變成等離子體狀態(tài),,分為正輝光相區(qū)和負(fù)輝光相區(qū),。 此時(shí),電離的分子立即附著并沉積在置于陰極板負(fù)輝相區(qū)域的樣品表面上,,形成非晶態(tài)鋨薄膜/等離子體聚合膜(萘),。 鋨薄膜是非晶態(tài)的,因此不會(huì)對(duì)樣品造成熱損傷,,并且當(dāng)用SEM對(duì)涂層樣品進(jìn)行拍照時(shí),,可以獲得極其清晰的圖像,沒有顆粒感。 |
◆關(guān)于鋨薄膜
◆關(guān)于等離子聚合膜(萘制碳?xì)浠衔锬ぃ?br/>
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