晶圓拋光晶片拋光過(guò)程中旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的平面度檢測(cè)設(shè)備推薦

在半導(dǎo)體制造設(shè)備的晶片拋光過(guò)程中,，需要保持裝有晶片的上板和鋪有拋光布的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)（下板）的平面度,。如果出現(xiàn)問(wèn)題，晶圓就會(huì)厚度不均勻,，不平整,，無(wú)法進(jìn)行均勻的拋光。此外,，曝光期間圖像也會(huì)失焦。

晶圓的平整度對(duì)于后續(xù)的曝光工藝至關(guān)重要,，因此在拋光過(guò)程中必須保持平整,。

我們的數(shù)字水準(zhǔn)儀用于保證上下平臺(tái)的平整度。

相關(guān)產(chǎn)品

SELN-001B

SELN-121BM（國(guó)內(nèi)版）

SELN-131BM（海外版）

SELN-011B

有線2軸精密數(shù)字水平儀SELN-001B

這款 2 軸數(shù)字水平儀（有線）是一款高精度且輕便的水平儀,。與普通水平儀相比,，它可以數(shù)字化顯示，使現(xiàn)場(chǎng)調(diào)整更加容易,。此外,，由于顯示器和水平儀通過(guò)電線連接，因此可以從遠(yuǎn)處進(jìn)行測(cè)量,。由于它重量輕,，因此還可以測(cè)量精細(xì)區(qū)域，例如處理晶圓的區(qū)域,。監(jiān)視器屏幕上將顯示氣泡,，您可以像查看氣泡水平儀一樣進(jìn)行調(diào)整。由于它是數(shù)字顯示的,，操作員之間的讀數(shù)沒(méi)有變化,。

特征

01水平X軸和Y軸的角度精度為±0.001deg（17.5μ/m）。

02在垂直距離較窄的地方進(jìn)行水平觀察也可以,！

在垂直距離較窄的地方進(jìn)行水平觀察也可以,！

03即時(shí)數(shù)字測(cè)量判斷使標(biāo)準(zhǔn)化工人標(biāo)準(zhǔn)成為可能。

042軸同時(shí)調(diào)整可減少調(diào)整工作時(shí)間,。

05通過(guò)設(shè)定可接受的角度范圍,，即使是初學(xué)者也可以輕松調(diào)節(jié)水平！ ,！

監(jiān)控詳情

 

規(guī)格

物品		內(nèi)容
傳感器部分	線性角	X方向±0.3度 Y方向±0.3度
	測(cè)量分辨率	0.0002度
	零點(diǎn)重復(fù)性	±0.001度或更小
	響應(yīng)速度	50 毫秒或更短
	工作溫度	-10℃～＋50℃
主體	微電腦	32位
	模數(shù)部分	14位
	測(cè)量范圍	±0.3度
	A/D分辨率	0.000025度
	顯示單元	0.0001度
	通過(guò)范圍設(shè)定范圍	0.0001度
	量程切換	0.01/ 0.001/ 0.0001
	超過(guò)顯示	0.3度以上
功能	傳感器連接數(shù)	1通道
	顯示部分	4.3英寸彩色液晶觸摸屏
		480×272點(diǎn)
電源		專用AC適配器DC6V/2A
		4 節(jié) AA 電池（1.5V）
外形尺寸	監(jiān)視器	寬96×深36×高145毫米
	傳感器（SUS底座）	φ50×H19毫米
	電纜	2米
重量	監(jiān)視器	392克
	傳感器	70克
配件		4 節(jié) AAA 電池（1.5V）
		專用AC適配器DC6V/2A
		操作說(shuō)明