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cemco產(chǎn)品在半導(dǎo)體/液晶行業(yè)的介紹實(shí)例
閱讀：1118 發(fā)布時間：2023-1-6cemco產(chǎn)品在半導(dǎo)體/液晶行業(yè)的介紹實(shí)例
咨詢內(nèi)容
我想消除攪拌 CMP 漿液時因夾氣引起的質(zhì)量變化,。
半導(dǎo)體工廠總是使用攪拌器來防止CMP漿液分離。然而,，當(dāng)化學(xué)浴中的液位變低時,，攪拌器的轉(zhuǎn)速對于被攪拌的液體來說變得過強(qiáng)，導(dǎo)致空氣夾帶,，從而導(dǎo)致質(zhì)量變化和產(chǎn)品缺陷的問題正在發(fā)生,。
質(zhì)量變化和產(chǎn)品缺陷會造成相當(dāng)大的損失，如果能夠預(yù)防,，則可以大大提高缺陷率,。
建議
一種TCMD型攪拌器，根據(jù)CMP漿液液位實(shí)現(xiàn)攪拌器轉(zhuǎn)速控制,。
液位計或稱重傳感器可用作測量液體體積的方法,。
來自液位計、稱重傳感器等的外部信號（4 至 20mA 或 1 至 5V）可用于控制轉(zhuǎn)數(shù),，防止化學(xué)罐中的質(zhì)量變化和夾帶空氣,。
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