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技術(shù)文章

用于半導(dǎo)體硅片厚度檢測(cè)設(shè)備-非接觸式測(cè)厚儀 OZUMA22簡(jiǎn)介

閱讀:2263          發(fā)布時(shí)間:2021-10-27

用于半導(dǎo)體硅片厚度檢測(cè)設(shè)備-非接觸式測(cè)厚儀 OZUMA22

 

<使用>

半導(dǎo)體用晶圓(各種材料) 硅Si.GaAs 砷化鎵等,,玻璃、金屬,、化合物等的高精度非接觸式測(cè)厚(非接觸式測(cè)厚)

<特點(diǎn)>

1. 1. 通過(guò)空氣背壓法可以進(jìn)行非接觸式測(cè)厚(非接觸式測(cè)厚),,不會(huì)造成劃痕和污染等損壞
不依賴于薄膜和顏色光澤等材料,,可以輕松進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)
,。在潮濕時(shí)可以進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)
即使是鏡面透明或半透明,,也可以毫無(wú)問(wèn)題地進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)
,。由于采用上下測(cè)量噴嘴進(jìn)行測(cè)量,因此
   可以準(zhǔn)確測(cè)量“厚度”,不受被測(cè)物體“滑行”引起的抬升的影響,。
 ?。?ldquo;雪橇”測(cè)量也可以作為選項(xiàng)(* 1))
6. 由于操作簡(jiǎn)單,因此可以非常輕松地進(jìn)行測(cè)量和校準(zhǔn)(* 2),。

<測(cè)量原理>

精確控制上,、下測(cè)量噴嘴的背壓,噴嘴定位使噴嘴與被測(cè)物體之間的間隙恒定,,并與預(yù)先用基準(zhǔn)規(guī)校準(zhǔn)的值進(jìn)行比較計(jì)算處理對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行測(cè)量操作,,可精確確定厚度。

測(cè)量原理圖


<性能>

  分辨率 0.1 μm
  重復(fù)精度 10 次重復(fù) 連續(xù)測(cè)量時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差 (1σ) 0.3 μm 或更小
  測(cè)量范圍 max. 10mm (* 3)
  供能電源 AC100V 50 / 60Hz 3A
            潔凈空氣 0.4MPa 20NL/min. (*4)


<基本配置>
標(biāo)準(zhǔn)的非接觸式測(cè)厚儀(非接觸式測(cè)厚儀)是一組以下設(shè)備,。
(1) 非接觸式測(cè)厚儀(非接觸式測(cè)厚儀)主體 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 套
②測(cè)量臺(tái)(安裝臺(tái)) ? ? ? ? 從附接“表型”的選擇·
········1組③控制箱(分離型)············1個(gè)
④手操作開(kāi)關(guān)BOX········ · · · · · · 1套

⑤ 顯示器(7"彩色液晶觸摸屏)或用于測(cè)量控制的個(gè)人電腦???????????1套
⑥連接電纜??????????????????? ? ? 1 套
⑦ 校準(zhǔn)規(guī)(規(guī)定厚度) ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 個(gè)
⑧ 測(cè)量控制的標(biāo)準(zhǔn)軟件 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ? ? ? ?
除上述以外,,還可以根據(jù)用途從“Option list”中選擇可選產(chǎn)品?!?/span>

(筆記)

* 1 根據(jù)翹曲的程度和工件的剛性,,可能無(wú)法測(cè)量翹曲 
    。詳情請(qǐng)聯(lián)系我們,。
* 2 校準(zhǔn)時(shí),,也可以使用市售的塊規(guī)。
* 3 測(cè)量范圍最大標(biāo)準(zhǔn)機(jī),。雖然是0.10mm,,但也可以選擇10mm以上
    (但是,,測(cè)量工作范圍為10mm)
*4 清潔空氣從測(cè)量噴嘴直接吹到被測(cè)物體上,,所以要注意空氣質(zhì)量。
    測(cè)量壓力為15至20 KPa,。

 


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