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用于Si 硅晶片的日本非接觸式測厚儀OZUMA22產(chǎn)品介紹

OZUMA 更新了用于半導(dǎo)體晶片（Si 硅晶片,、GaAs,、砷化鎵 Ga）、砷（As）,、玻璃,、金屬等的高精度非接觸式厚度測量裝置（非接觸式厚度測量裝置） . 非接觸式測厚儀OZUMA22用于控制半導(dǎo)體晶片（Si硅晶片、GaAs,、鎵（Ga）砷（As））在背面拋光過程中,，或在每個(gè)制造過程中的厚度（厚度）?？捎糜冢ê穸龋┛刂频姆墙佑|式測量,。

分辨率為 0.1 μm。

由于是非接觸式空氣背壓測量,，因此無需擔(dān)心探頭等劃傷被測物體,。由于是非接觸式，因此可以對同一被測物進(jìn)行厚度（厚度）,、翹曲度,、平行度等重復(fù)測量。由于測量是用上下測量噴嘴進(jìn)行的,，因此可以準(zhǔn)確測量“厚度（厚度）”,，而不會(huì)因“雪橇”而受到被測物體抬升的影響。由于它是一種空氣背壓測量方法,，即使在潮濕的情況下也能準(zhǔn)確測量,。此外，厚度（厚度）可以在不接觸的情況下輕松測量,，不依賴于材料,，如帶膜或光澤。即使是鏡面、透明或半透明,，也可以毫無問題地進(jìn)行非接觸式厚度測量（厚度測量）,。也可以更換 OZUMA22 上的激光頭和光譜干涉儀。