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用于半導(dǎo)體晶片檢測的日本非接觸式厚度測量儀 OZUMA CL
閱讀：1662 發(fā)布時間：2021-6-4用于半導(dǎo)體晶片檢測的日本非接觸式厚度測量儀 OZUMA CL
半導(dǎo)體晶片（Si硅晶片,、GaAs、砷化鎵Ga）,、砷（As）,、玻璃、金屬等,。它是,。OZUMA CL 非接觸式厚度測量裝置用于半導(dǎo)體晶片（Si 硅晶片、GaAs,、鎵 (Ga) 砷 (As)）背面拋光工藝或每個制造工藝中的厚度（厚度）控制,。可用于晶圓（厚度）控制的非接觸式測量,?！?/font>
分辨率為 0.01 μm。
由于是激光非接觸方式 ,，因此無需擔心探針等劃傷被測物體,。由于是非接觸式,，因此可以對同一被測物進行厚度（厚度）、翹曲度,、平行度等重復(fù)測量,。由于激光傳感頭上下相對放置，因此可以準確測量厚度,，而不受被測物體“滑行”引起的抬升的影響,。
除了氣壓，我們還制造油壓,、水壓等單元,，各種定制測量儀器（空氣、激光,、光譜干涉儀,、圖像等）和試驗機（振動、沖擊,、耐久性等）,。 . 如果您想自動化人們目前正在做的工作，我們也期待收到您的來信,。