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氧氣分析儀在半導(dǎo)體/液晶/電子元器件等領(lǐng)域的相關(guān)應(yīng)用
閱讀：1135 發(fā)布時(shí)間：2020-10-16日本東麗TORAY氧氣分析儀MS-500,、LC-450A,、LC-450D、LC-860
氧氣表MS-500
- 多可以同時(shí)測量8個(gè)點(diǎn)
- 濃度范圍從ppm到100％均可顯示,。
- 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,，真空設(shè)備等上,。
- 傳感器是直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）
- 特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器,，以進(jìn)一步提高耐用性。
MS-500設(shè)備規(guī)格
測量原理 | 氧化鋯輕型電池 | ||
形狀 | 分體式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式,，傳感器：直接插入式） | ||
顯示方式 | 4位數(shù)字顯示（密度顯示） | ||
測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓 | ||
重復(fù)性 | 在±0.5％FS 0-1％范圍內(nèi)或以上 | ||
測量點(diǎn)數(shù) | 1-8 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 10 -3至200 KPa（壓力） | |
流量 | 0.5-5,000 mL / min或0 mL / min（自然擴(kuò)散狀態(tài)的測量） | ||
濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 | ||
溫度 | 0-100℃ | ||
其他 | 不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體,，基于硫化物的氣體等）,，包含有機(jī)硅的氣體，可燃成分（包括氣體）,，油和水,。 | ||
比較氣 | 大氣層 | ||
記錄儀輸出 | 僅變速箱輸出 | ||
變速箱輸出 | RS-232C | ||
報(bào)警輸出 | 沒有 | ||
熱身時(shí)間 | 6分鐘以內(nèi) | ||
尺寸 | MS-500（控制器） | 92（W）x 44（H）x 120（D）（不包括突起） | |
MS-510（轉(zhuǎn)換器） | 100（W）x 40（H）x 88（D）（不包括突起） | ||
傳感器單元 | SD16NW | 總長100 mm（感應(yīng)部分Φ11×39，主體部分Φ40×51） | |
SD25NW | 總長100mm（感應(yīng)部分Φ11×42，主體部分Φ40×48） | ||
SD40NW | 總長100 mm（感應(yīng)部分Φ11×41,，主體部分Φ40×49） | ||
大眾 | MS-500（控制器） | 約0.6Kg | |
MS-510（轉(zhuǎn)換器） | 約0.5kg | ||
傳感器單元 | SD16NW | 約0.2Kg | |
SD25NW | 約0.2Kg | ||
SD40NW | 約0.35Kg | ||
外部連接 | 真空法蘭之一（NW16,、25、40） | ||
使用電源 | 24VDC±10％ | ||
氧氣計(jì)LC-450A,，LC-450D
可以顯示很寬的濃度范圍，從測量到的濃度范圍內(nèi)的ppm水平到100％,。- 改進(jìn)的傳感器耐用性
氧氣傳感器經(jīng)過特殊處理,，以提高其耐用性。 - 交流寬電源AC100-240VAC（LC-450A）
* LC-450D由24V DC驅(qū)動(dòng) - 緊湊且易于安裝
深度比我們的傳統(tǒng)型號還要短,，并且不會(huì)占用太多空間,。 - 符合RoHS的產(chǎn)品
- CE標(biāo)志自我聲明產(chǎn)品
EN61010-1：2002，EN61326：+ A3：2003
氧氣計(jì)LC-860
- 低濃度測量
可以測量ppb到100％ - 操作簡便
按功能可輕松操作 - 吹掃功能
比較氣體更穩(wěn)定,，測量更精que（僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格） - 高可靠性傳感器傳感器
內(nèi)部還可以進(jìn)行防劣化處理（可選）