面投影微立體光刻（Projection Micro Stereolithography, PμSL）是一種面投影光固化3D打印技術(shù)，適用于制作微尺度的復(fù)雜三維結(jié)構(gòu),，有著高分辨率,、高精度、跨尺度加工,、適用材料廣,、加工效率高、加工成本低等諸多特點(diǎn),。本文將從成型原理,、最小加工特征尺寸、最大成型幅面,、適配打印材料,、與其他3D打印技術(shù)的對(duì)比、產(chǎn)業(yè)化技術(shù)創(chuàng)新等方面,，對(duì)這一技術(shù)進(jìn)行詳細(xì)介紹,。
圖1 基于PμSL3D打印技術(shù)制作的復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)示例
一、成型原理
圖2所示為PμSL 3D打印技術(shù)的成型過(guò)程,，首先使用建模軟件構(gòu)建出三維結(jié)構(gòu)模型,；接著使用切片軟件對(duì)三維模型以一定大小的層厚進(jìn)行切片處理，得到一系列具有特定圖案的二維圖片,；然后采用PμSL 3D打印系統(tǒng)對(duì)切片后的每一層圖案進(jìn)行整面投影曝光,；反復(fù)重復(fù)上一步驟并層層堆疊最終成型出所需的三維結(jié)構(gòu)。
圖2 PμSL3D打印技術(shù)成型過(guò)程
PμSL3D打印技術(shù)成型三維結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵在于光敏樹(shù)脂材料在紫外光的作用下發(fā)生光聚合反應(yīng)從而固化,，而特定圖形的產(chǎn)生則依賴于打印系統(tǒng)中的DMD（Digital Micromirror device）芯片所生成的數(shù)字動(dòng)態(tài)掩模,。如圖3所示，切片后的模型數(shù)據(jù)導(dǎo)入到打印系統(tǒng)后,，這些二維圖像數(shù)據(jù)發(fā)送至DMD,，DMD根據(jù)圖像數(shù)據(jù)控制芯片上各個(gè)微鏡（即DMD上的每一像素點(diǎn)）的偏轉(zhuǎn)。因此,，光源發(fā)出的紫外光在到達(dá)DMD后將重新整形生成與圖形數(shù)據(jù)一致的光,。最后，經(jīng)調(diào)制后的光通過(guò)最終物鏡投影至液態(tài)樹(shù)脂材料表面,，對(duì)特定區(qū)域進(jìn)行選擇性曝光從而生成特定結(jié)構(gòu),。此外，打印系統(tǒng)還可通過(guò)打印平臺(tái)的移動(dòng)，拼接打印出大幅面的圖形結(jié)構(gòu),。
圖3 典型的PμSL3D打印系統(tǒng)
二,、最小加工特征尺寸
通過(guò)控制投影物鏡的微縮倍率，PμSL 3D打印技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)幾微米甚至幾百納米的特征尺寸,。深圳摩方材料科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“摩方"）基于在這一技術(shù)領(lǐng)域的多年沉淀,，自主研發(fā)出了一系列PμSL3D打印系統(tǒng)，已經(jīng)量產(chǎn)的產(chǎn)品最高光學(xué)分辨率可達(dá)2 μm（這里提到的光學(xué)分辨率是指投影光單個(gè)像素點(diǎn)的大?。?。借助這一高分辨系統(tǒng)，2 μm線寬二維網(wǎng)格線條和8.5 μm桿徑三維點(diǎn)陣得以實(shí)現(xiàn)（圖4）,。
圖4 摩方3D打印系統(tǒng)打印的2 μm線寬二維線條和8.5 μm桿徑三維點(diǎn)陣
三,、最大成型幅面
PμSL技術(shù)采用整面曝光，其中曝光圖形由DMD控制產(chǎn)生,。因此,，一般情況下，PμSL 3D打印系統(tǒng)的最大成型幅面取決于光學(xué)分辨率大小以及DMD像素點(diǎn)數(shù)量,，DMD成像芯片尺寸固定,，通過(guò)投影鏡頭只能實(shí)現(xiàn)固定的投影幅面。最大成型幅面與系統(tǒng)光學(xué)分辨率呈矛盾關(guān)系,，即當(dāng)提高系統(tǒng)光學(xué)分辨率時(shí),，其最大成型幅面相應(yīng)減小。拼接技術(shù)很好地解決了這一矛盾,，使得高分辨,、大幅面,、跨尺度打印得以實(shí)現(xiàn),。以摩方PμSL3D打印系統(tǒng)為例，固定投影打印與拼接打印的幅面如表1所示,。
表1 固定投影打印與最大打印幅面對(duì)比
四,、適配打印材料
PμSL3D打印技術(shù)的加工成型基于材料的光聚合，因此其打印材料為光敏樹(shù)脂材料,。針對(duì)不同應(yīng)用需求,，硬性樹(shù)脂、韌性樹(shù)脂,、耐高溫樹(shù)脂,、生物兼容性樹(shù)脂、柔性樹(shù)脂,、透明樹(shù)脂,、水凝膠等諸多樹(shù)脂材料已商業(yè)化。除上述純樹(shù)脂材料以外,，功能顆粒摻入樹(shù)脂中形成的復(fù)合樹(shù)脂材料同樣可用于打印,，如磁性顆粒復(fù)合樹(shù)脂,、陶瓷顆粒復(fù)合樹(shù)脂、金屬顆粒復(fù)合樹(shù)脂等,。
五,、與其他3D打印技術(shù)的對(duì)比
表2是PμSL技術(shù)與其他3D打印技術(shù)規(guī)格的對(duì)比，主要基于已商業(yè)化產(chǎn)品的規(guī)格對(duì)比,。熔融沉積成型和聚合物噴射光固化是目前較廣泛的兩種3D打印技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)大尺寸結(jié)構(gòu)的加工成型，但其精度相對(duì)較低,。激光逐點(diǎn)掃描光固化和雙光子激光直寫(xiě)技術(shù)則可實(shí)現(xiàn)非常高的分辨率,，然而逐點(diǎn)掃描加工的特性極大地限制了其成型速度。此外,，雙光子激光直寫(xiě)技術(shù)的成型尺寸通常在毫米級(jí),。相較而言，PμSL3D打印技術(shù)很好地平衡了高精度,、高速度,、大幅面的特點(diǎn)。
表2 PμSL技術(shù)與其他3D打印技術(shù)的對(duì)比
六,、產(chǎn)業(yè)化技術(shù)創(chuàng)新
相較于實(shí)驗(yàn)室技術(shù),，工業(yè)市場(chǎng)對(duì)這一技術(shù)提出了更多更高要求，包括更廣泛的功能性打印材料,、更大的打印幅面,、更穩(wěn)定的公差控制等方面。深圳摩方材料科技有限公司在這一技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化上進(jìn)行了諸多工業(yè)級(jí)技術(shù)創(chuàng)新,，例如增加氣泡消除系統(tǒng),、激光測(cè)距、加熱打印等創(chuàng)新功能,，用以進(jìn)一步提高打印質(zhì)量,、精密控制加工公差、拓寬打印材料的范圍,，以滿足精密工業(yè)設(shè)計(jì)和制造的需求,。
本文對(duì)PμSL這一高精度、高速度,、大幅面的三維復(fù)雜結(jié)構(gòu)成型加工技術(shù)進(jìn)行了簡(jiǎn)要介紹,，這一技術(shù)適用于復(fù)雜精密結(jié)構(gòu)一次成型、快速原型器件驗(yàn)證,、小批量功能部件加工等,，可用于多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域。后續(xù)本公眾號(hào)將持續(xù)推出關(guān)于這一技術(shù)的應(yīng)用案例，敬請(qǐng)期待,。
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