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凈化車間無塵室氣流分類星源潔凈為你解說

閱讀:818        發(fā)布時間:2021-1-3

 凈化車間無塵室氣流分類星源潔凈為你解說

 

在無塵車間的設(shè)計(jì)和改造過程中,,無塵室氣流有很多種,,每種方式都有他的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn),,在無塵室設(shè)計(jì)時一定要根據(jù)現(xiàn)場的實(shí)際情況進(jìn)行選擇,!一般無塵室分類,,無塵室氣流分類,,可分為以下幾種,,把這幾種氣流方式弄清楚后,,就更加容易進(jìn)行凈化車間設(shè)計(jì),無塵室設(shè)計(jì)了,。這頁同時也介紹了無塵室換氣次數(shù),。
層流式:
層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線形,此種型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用,一般其無塵室等級為Class 1~100,??諝庥筛采w率之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),。
層流式又分為水平層流式和垂直層流式:
    A,,水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),,塵埃隨風(fēng)向排出室外,,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單,,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定,。

缺點(diǎn):建造費(fèi)用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充,。
   B,,垂直層流式:在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域,,房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋,,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,。
       優(yōu)點(diǎn):管理容易,,運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響,。

缺點(diǎn):構(gòu)造費(fèi)用較高,,彈性運(yùn)用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,,維修更換過濾器較麻煩,。

是亂流式
亂流式的空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵室內(nèi)的高效空氣過濾器確進(jìn)入無塵室,并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng),。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,,將污染空氣逐漸稀釋,,來實(shí)現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級別(換氣次數(shù)越多,,凈化級別越高),。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。

優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單,、系統(tǒng)建造成本,,無塵室之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,,提高無塵室等級,。

缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品,。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活,,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間,。

復(fù)合式: 復(fù)合式是層流式和亂流式復(fù)合或并用,,可提供局部超潔凈之空氣。
 

A,,潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。

此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,,以避免機(jī)器維修時影響了工作及品質(zhì),,ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易,; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行,。

B,潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,,將潔凈度等級提至100級以上,。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,,可節(jié)省能源,,不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品,、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用,。

C,并裝局部無塵室(Clean Spot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,,以為生產(chǎn)之用,;潔凈工作臺、潔凈工作棚,、潔凈風(fēng)柜即屬此類,。

  

 

 

 

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