半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中露點(diǎn)儀的選擇

半導(dǎo)體芯片對(duì)現(xiàn)代社會(huì)的重要性不言而喻，是支持5G,，物聯(lián)網(wǎng),，AI，自動(dòng)駕駛汽車(chē),，智能穿戴等市場(chǎng)發(fā)展的關(guān)鍵因素,。隨著芯片尺寸的減小和更加精密，制造工藝要求也越來(lái)越精細(xì),，更嚴(yán)格的規(guī)范和生產(chǎn)誤差,。反過(guò)來(lái)，這將更加依賴(lài)于監(jiān)測(cè)和控制工藝條件的傳感器和儀器性能,，盡可能降低減產(chǎn)或整批晶圓報(bào)廢的風(fēng)險(xiǎn),。

被稱(chēng)為半導(dǎo)體“血液"的電子氣體是芯片制造業(yè)經(jīng)常使用的，它參與蝕刻,、清洗,、外延生長(zhǎng)、離子注入等各個(gè)環(huán)節(jié),。它的純度影響集成電路的性能,、集成度、成品率等,，隨著芯片制造工藝的小型化,，半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)電子氣體的純度提出了更高的要求。

氣體中的露點(diǎn)測(cè)量是一個(gè)挑戰(zhàn),，以99.9999%的高純氮?dú)鉃槔?，其水分含量低?span>1ppm，也就是100萬(wàn)個(gè)氣體分子中,， 不到1個(gè)水分子,。如此微量的水分子含量， 對(duì)濕度傳感器的靈敏度和準(zhǔn)確性都是一個(gè)真正的考驗(yàn),。在過(guò)往,，高精度的水分儀往往伴隨著高成本,，而隨著金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的開(kāi)發(fā)，在精度和成本上的選擇不再是魚(yú)和熊掌不能兼得的困境,。

金屬氧化物陶瓷濕度傳感器

密析爾研發(fā)的金屬氧化物陶瓷濕度傳感器技術(shù)，借鑒半導(dǎo)體領(lǐng)域的厚薄膜技術(shù),，把整個(gè)傳感器構(gòu)建在堅(jiān)固穩(wěn)定的陶瓷基座上,。基于多孔感濕層對(duì)水分子的吸收,，通過(guò)感受水氣分壓得出（工況下）水露點(diǎn)值,。該吸濕活性層如同“三明治"一樣被夾在陶瓷基底上的兩個(gè)導(dǎo)電層之間，厚度僅不到一微米,，而頂部金箔層只允許水分子自由進(jìn)入傳感器,，且與多孔導(dǎo)電層相比更薄。因此,，當(dāng)周?chē)h(huán)境的濕度發(fā)生變化的時(shí)候,，傳感器對(duì)濕度變化會(huì)有非常靈敏的反應(yīng)。它能夠檢測(cè)超高純度氣體中低至百萬(wàn)分之幾的微量水分含量,。

高純氣體露點(diǎn)變送器

基于金屬氧化物陶瓷濕度傳感器技術(shù),，密析爾推出了應(yīng)用于不同環(huán)境的水分儀。今年推出的新品 Pura Advanced Online 2 高純氣體露點(diǎn)變送器對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)商來(lái)說(shuō)是一個(gè)不錯(cuò)的選擇,，可以在化學(xué)氣相沉積,、蝕刻等生產(chǎn)過(guò)程中監(jiān)測(cè)露點(diǎn)。

Pura Advanced Online 2

Pura具有很好的穩(wěn)定性和重復(fù)性,，可以測(cè)量低至 -120 °Cdp,，在-60°Cdp時(shí)精度為±1°C，對(duì)過(guò)程環(huán)境的變化可以快速響應(yīng),。此外,，新傳感器還提供本安版本，具有 ATEX,，UKCA和IECEx 認(rèn)證,。

根據(jù)客戶的應(yīng)用要求和預(yù)算，Pura 高純氣體露點(diǎn)變送器可配*,、經(jīng)濟(jì)的顯示表,。

隨著芯片變得越來(lái)越小和更加精密，選擇能夠保證一致的生產(chǎn)環(huán)境,，符合嚴(yán)格工藝流程的儀器很關(guān)鍵,。Pura Advanced Online 2 等儀器能夠幫助廠商滿足日益嚴(yán)苛的要求。