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MICHELL針對半導(dǎo)體和高純氣領(lǐng)域濕度異動的解決方案
密析爾儀表公司很高興宣布推出自己的微量水分異動傳感器-Pura Plus,。 Pura Plus 是一款在線的微量水分異動傳感器,專為半導(dǎo)體晶圓廠的高純惰性氣體而設(shè)計,; 適合多點安裝在氣路進入制程工具前的Z末端,。 Pura Plus 安裝的管網(wǎng)上,可以快速的(小于一分鐘)偵測出在1 ppb 基準上低至20ppb 的濕度異動,。
為了同時保證達到高靈敏度和快速反應(yīng)的要求,,密析爾創(chuàng)造了一種*的偵測算法,并輔以全新的適合高純氣的陶瓷傳感器設(shè)計,。除此以外,,Pura Plus 還可以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的特殊的包裝要求,Pura Plus達到了材質(zhì)和表面處理的Z高標準, 整個裝配和包裝都是在100 級的潔凈室完成,。在包裝前,,密析爾還要在10-9 bar / 秒的條件下對Pura Plus進行密封性測試,以達到在兩年內(nèi)免維護和正常工作的設(shè)計要求,。信號通過MODBUS輸出,,以LED交通燈的形式顯示警告和報警狀態(tài)。將來還將具有4-20mA輸出,。
這款新的傳感器是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)在尺寸和規(guī)格方面需求的相應(yīng),。晶圓廠不斷地在推動技術(shù)以達到在元件尺寸和封裝上的要求。新的更大尺寸的晶圓具有更昂貴的單位價值,,使得晶圓廠不斷提高產(chǎn)出,,減少由于污染而導(dǎo)致的殘品率。當前規(guī)定大宗散裝惰性氣(N2,,Ar)的潮氣污染水平要小于10 ppb,, 而趨勢是要降低至1ppb以下。
通常,,在大宗散裝氣體進入FAB前的Z末端,,通過安裝大型而復(fù)雜的儀器來監(jiān)測濕度污染,存在著價格昂貴而且反應(yīng)速度慢的問題,, 而大宗氣體的濕度污染是不常發(fā)生的,; 與此相反,在FAB的內(nèi)部,,由許多的分管,,節(jié)點,和使用點而構(gòu)成的管網(wǎng),,即傳統(tǒng)的濕度監(jiān)測點的下游,潮氣進入?yún)s是經(jīng)常發(fā)生的,,造成的原因可能是微小的泄漏,系統(tǒng)設(shè)計缺陷,,元件損壞,或者流程上的失敗,。Pura Plus 的小巧尺寸和創(chuàng)新概念使得在多個使用點的安裝成為可行,,成為保護晶圓制造流程的一個投入少,見效快的手段,。
英國MICHELL擁有冷鏡式,、陶瓷氧化鋁等濕度傳感器,。英國密析爾(MICHELL)儀表為Z大的濕度露點儀表生產(chǎn)廠家,在歐洲濕度檢測領(lǐng)域有過半的*,,擁有超過35年的專業(yè)技術(shù),,開發(fā)一整套變送器、露點儀,、校驗系統(tǒng)等產(chǎn)品,,歐盟/美國國家標準實驗室全都是使用MICHELL產(chǎn)品作為標準儀器。
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