高溫濕度傳感器,，基本形式都為利用濕敏材料對水分子的吸附能力或?qū)λ肿赢a(chǎn)生物理效應(yīng)的方法測量濕度。有關(guān)濕度測量，早在16世紀(jì)就有記載,。許多古老的測量方法,，如干濕球溫度計,、毛發(fā)濕度計和露點計等至今仍被廣泛采用。現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)要求高精度,、高可靠和連續(xù)地測量濕度,，因而陸續(xù)出現(xiàn)了種類繁多的濕敏元件。

　　高溫濕度傳感器測量方法：

　　常見的濕度測量方法有：動態(tài)法(雙壓法,、雙溫法、分流法),，靜態(tài)法(飽和鹽法,、硫酸法)，露點法,，干濕球法和電子式傳感器法,。

　　①雙壓法,、雙溫法是基于熱力學(xué)p,、v、t平衡原理,，平衡時間較長,，分流法是基于濕氣和干空氣的混合。由于采用了現(xiàn)代測控手段,，這些設(shè)備可以做得相當(dāng)精密,，卻因設(shè)備復(fù)雜，昂貴,，運作費時費工,，主要作為標(biāo)準(zhǔn)計量之用，其測量精度可達(dá)±2%rh以上,。

　?、陟o態(tài)法中的飽和鹽法，是濕度測量中常見的方法,，簡單易行,。但飽和鹽法對液、氣兩相的平衡要求很嚴(yán),，對環(huán)境溫度的穩(wěn)定要求較高,。用起來要求等很長時間去平衡，低濕點要求更長,。特別在室內(nèi)濕度和瓶內(nèi)濕度差值較大時,，每次開啟都需要平衡6~8小時。

　?、勐饵c法是測量濕空氣達(dá)到飽和時的溫度,，是熱力學(xué)的直接結(jié)果,，準(zhǔn)確度高，測量范圍寬,。計量用的精密露點儀準(zhǔn)確度可達(dá)±0.2℃甚至更高,。但用現(xiàn)代光-電原理的冷鏡式露點儀價格昂貴，常和標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器配套使用,。

　?、芨蓾袂蚍ǎ@是18世紀(jì)就發(fā)明的測濕方法,。歷史悠久,，使用普遍。干濕球法是一種間接方法,，它用干濕球方程換算出濕度值,，而此方程是有條件的：即在濕球附近的風(fēng)速需達(dá)到2.5m/s以上。普通用的干濕球溫度計將此條件簡化了,，所以其準(zhǔn)確度只有5~7%rh,干濕球也不屬于靜態(tài)法,，不要簡單地認(rèn)為只要提高兩支溫度計的測量精度就等于提高了濕度計的測量精度。

　?、蓦娮邮綕穸葌鞲衅鞣?/span>

　　電子式濕度傳感器產(chǎn)品及濕度測量屬于90年代興起的行業(yè),近年來,，國內(nèi)外在濕度傳感器研發(fā)領(lǐng)域取得了長足進步。濕敏傳感器正從簡單的濕敏元件向集成化,、智能化,、多參數(shù)檢測的方向迅速發(fā)展，為開發(fā)新一代濕度測控系統(tǒng)創(chuàng)造了有利條件,，也將濕度測量技術(shù)提高到新的水平,。