雅馬拓等離子清洗機V1000產品特點：

■操作性·功能
●射頻13.56Mhz0-1000W高功率機型,，DP和RIE標配的雙模等離子清洗儀器,，可對應更多復雜工藝.
●標準配備電離式真空計,，實時顯示真空度,，使得控制更為accurate,。
●液晶觸摸屏控制，操作使用簡單,，調取數據簡單,。
■安全性·保護
●標準配備真空泄漏檢測功能，可以根據需要檢查設備的真空以及泄漏情況。
●裝載有過電流漏電保護,、真空泵,、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置,。
●發(fā)生器保護回路：超負荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時,，可自動調低頻率來保護發(fā)生器。
●門鎖開關：門在未*關閉時無法啟動電源,。
●側板鎖：本體側板突然打開或者未關好時,，會停止電源。
●緊急停止按鍵（EMO）標準配備,。
●當裝置發(fā)生異常時,，裝置本體發(fā)出警告信號的同時，進行以下動作1）關閉主閥,。（2）關閉供氣閥,。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時間,。（5）聲光報警
■產品優(yōu)勢
●清洗效果好,，清洗效率高，功率大,，應用范圍廣,。
●DP&RIE雙模處理，可對應更復雜的工藝,。
●搭載高精度適配器,，高性能RF電源。
●可變電極構造提高等離子處理效果,。
●安全保護措施綿密,，有效防止對機器以及樣品的損害。
●可根據需求的具體情況提供產品定制服務,。
●硅晶圓的灰化及蝕刻。
●基板表面污垢處理,。
●IC/LED封裝,、BGA/CSP基板處理。
●半導體相關部品的電子材料的干式清洗,。
●自然氧化膜·有機物去除,。
●界面活性處理。
●表面污染物去除

雅馬拓等離子清洗機V1000產品參數：