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檢測(cè)行業(yè)中常見(jiàn)的幾種膜厚測(cè)試方法如下：

1、金相測(cè)膜厚度

設(shè)備：金相顯微鏡

此方法適用于測(cè)量厚度＞1μm的金屬膜層,，可同時(shí)測(cè)量多層,；

被測(cè)樣品需要經(jīng)垂直于待測(cè)膜層取樣進(jìn)行金相制樣，再在金相顯微鏡下觀察并拍照測(cè)量待測(cè)膜層厚度,。

2,、SEM測(cè)膜厚度

設(shè)備：XRF測(cè)厚儀

此方法適用于測(cè)量厚度＞0.01μm的金屬膜層,，可同時(shí)測(cè)量多層；

測(cè)量前需知道樣品的鍍膜工藝信息（如基材材料、膜層材料及順序）,；

可以實(shí)現(xiàn)無(wú)損檢測(cè)（視樣品）,。

4、XPS深度剖析

設(shè)備：X射線光電子能譜儀（XPS）

此方法適用于測(cè)量納米級(jí)厚度的膜層,。

XPS設(shè)備可以測(cè)試樣品極表面的元素成分（每次測(cè)量的信息深度為5nm左右）,，并且可以在樣品室內(nèi)直接對(duì)樣品表面進(jìn)行濺射，可以去除厚度（納米級(jí)）的表層物質(zhì),，這兩個(gè)功能結(jié)合使用就可以測(cè)量出納米級(jí)膜層的厚度；

例如,，樣品表面成分為銠元素,，逐步濺射掉表面50nm后發(fā)現(xiàn)成分中開(kāi)始出現(xiàn)大量的鉑元素，那么可以判斷測(cè)試位置銠膜的厚度約為50nm,。

 
5,、臺(tái)階測(cè)厚方法

設(shè)備：臺(tái)階儀

此方法對(duì)厚度的測(cè)量范圍較寬，0.1μm到10μm均能檢測(cè),；

但對(duì)樣品的要求很高,，膜層與基材之間必須有臺(tái)階，且表面光滑,。