污水處理廠設(shè)備臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的臭氧滅菌屬于生化氧化反應(yīng),，臭氧氧化分解細菌中葡萄糖氧化所必需的酶；還可以直接與細菌,、病毒相互作用,，破壞其細胞壁和RNA，分解DNA,、RNA、蛋白質(zhì),、脂類,、多糖等大分子聚合物，從而破壞細菌的代謝生長和繁殖,；還能穿透細胞膜組織,，侵入細胞膜,，作用于外膜脂蛋白和內(nèi)膜脂多糖，引起細胞通透性畸變,，導(dǎo)致細胞的溶解和死亡,，溶解、變性和破壞死亡細菌中的遺傳基因,、寄生菌株,、寄生病毒顆粒、噬菌體,、支原體和熱原（細菌和病毒的代謝產(chǎn)物、內(nèi)毒素）,。從無菌技術(shù)對微生物作用的原理來看,，可以分為三種：抑菌、滅菌和溶菌,。臭氧作為消毒劑的應(yīng)用屬于細菌溶解。

污水處理廠設(shè)備臭氧發(fā)生器的臭氧活性炭協(xié)同降解有機物處理技術(shù),，在每升含有臭氧的水中懸浮幾毫克的活性炭或炭黑,，在水中會引發(fā)鏈反應(yīng)，并加速臭氧轉(zhuǎn)化為羥基自由基,，由此導(dǎo)致了臭氧的氧化過程,。與單獨的臭氧作用相比,，臭氧活性炭技術(shù)對有機物的降解速率更快；但活性炭對有機物臭氧化影響作用與有機物種類有關(guān),，對與臭氧反應(yīng)速率越小的有機物其作用越顯著,，例如臭氧活性炭對乙酸鈉的降解速率是單臭氧氧化降解速率的5倍，而對苯酸鉀,、氯苯甲酸的臭氧氧化速率與單獨臭氧氧化比較提高不到1倍,。另外加入活性炭還能使臭氧水處理有一定的絮凝作用,，臭氧活性炭工藝多用于市政污水的提標改造。