煙氣脫硫脫硝臭氧發(fā)生器消毒氧化裝置是一種新型的同時脫硫脫硝去除技術(shù),，利用臭氧的強氧化性將煙氣中的NOx和SOx氧化成價格較高的水溶性化合物,，然后通過濕法洗滌吸收,。通過臭氧氧化和尾氣洗滌,，NOx去除效率通常超過95%,，SOx去除效率十分可觀。由于目前臭氧制備和儲存成本高,，其應(yīng)用范圍有限,；國外煉油廠采用臭氧去除技術(shù)的應(yīng)用案例相當多。近年來,，隨著國家限制煙氣排放標準的提高,，我國出現(xiàn)了一些采用這種工藝的單位。

臭氧脫硫脫硝工藝和傳統(tǒng)濕法脫硫工藝都有一套吸收塔系統(tǒng),。不同的是煙氣在進入吸收塔系統(tǒng)之前需要經(jīng)過臭氧氧化,。在自然界的所有化合物中，臭氧是僅次于氟的強氧化劑,，所以臭氧容易分解,，不易保存,，一般都是在制備的時候使用臭氧。目前制備臭氧的方法主要有三種：光化學法,、電化學法和電暈放電法,。

光化學是指通過紫外線照射將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧的過程，是地球大氣中臭氧的形成機制和醫(yī)用臭氧的制備,。

電化學方法通過消化純水產(chǎn)生臭氧,。這種過程由來已久。目前其制備量已達到工業(yè)水平要求,，臭氧產(chǎn)生量約為100g/h,。

電暈放電法是目前工業(yè)臭氧生產(chǎn)中廣泛使用的方法。這項技術(shù)每單位可生產(chǎn)500公斤/小時的氧氣,。該方法是通過在暈圈釋放區(qū)留下干燥的含氧氣體來制備臭氧的方法,。

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