臭氧是一種強(qiáng)氧化劑，消耗低,，反應(yīng)速度快,，無二次污染物致癌性，因此廣泛應(yīng)用于飲用水,、工業(yè)廢水,、循環(huán)冷卻水等工業(yè)廢水的處理，以及食品,、醫(yī)藥,、造紙、化工,、環(huán)保等行業(yè),。產(chǎn)生臭氧的方法有很多，包括靜電放電法,、化學(xué)法,、紫外輻射法和電解法。然而,，目前大多數(shù)工業(yè)系統(tǒng)使用無聲放電方法來研究臭氧發(fā)生器,。用工業(yè)水處理臭氧發(fā)生器的方法主要包括：放電單元（由電極和介質(zhì)組成）、電源,、入口準(zhǔn)備和冷卻系統(tǒng)等,。熱化理論產(chǎn)生的臭氧能量利用率的理論值是1200g/（kWh），但實(shí)際上遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)不到這個值,，因?yàn)橹挥?%~12%的能量被用來形成臭氧,，而剩余的能量全部轉(zhuǎn)化為熱量。

入口配料系統(tǒng)包括壓縮機(jī),、冷卻器,、干燥器、過濾器,、參數(shù)監(jiān)視器等,。它的功能是去除入口氣體中的雜質(zhì),，提供合適的氣流速度和溫度，控制入口氣體的溫度,，等等,。在這些因素中，重要的是去除進(jìn)氣中的水分,，降低進(jìn)氣中的濕度,，即降低進(jìn)氣中的露點(diǎn)，因?yàn)樗謱Τ粞醯漠a(chǎn)生非常不利,，也就是說,，臭氧的輸出隨著露點(diǎn)的增加而減少。因?yàn)闈櫇癫粌H改變氣體的性質(zhì),，還會改變涂在電極上的介質(zhì)的表面性質(zhì),，如導(dǎo)電性，會減弱放電,，減少臭氧的產(chǎn)生,。工業(yè)臭氧發(fā)生器中使用的冷卻介質(zhì)包括空氣或氧氣、水或油,。在工業(yè)水處理臭氧發(fā)生器中，系統(tǒng)冷卻也很重要,，因?yàn)楫a(chǎn)生臭氧時會產(chǎn)生大量熱量,，溫度對臭氧有顯著影響。結(jié)果表明,，隨著溫度的升高,，臭氧的體積分?jǐn)?shù)急劇下降，導(dǎo)致臭氧產(chǎn)量和生產(chǎn)率下降[15,，28],。純氣源，10kHz電源,，可達(dá)到400g/（kWh）-90℃的能量利用率,。