臭氧由三個氧原子組成,，是氧的同素異形體。其分子式為O3,，分子量為48,。在常溫常壓下，O3是一種淡藍色氣體,，有特殊的腥味,。當(dāng)濃度適中時，有一種“清新”的氣味,。在常溫下,，臭氧不穩(wěn)定，會自行分解成O2和單原子O,。兩個單原子O可以結(jié)合成O2,。單原子氧非常活潑,，具有很強的氧化性,。它的氧化能力是氯的兩倍，反應(yīng)快,，滅菌速度比氯快600-3000倍,，幾秒鐘內(nèi)就能殺死細菌和病毒。

臭氧發(fā)生器的滅菌效果很強,，能夠快速,、強力地殺滅水、空氣和附著表面的各種細菌、病原微生物,、病毒,、真菌和原生動物。臭氧處理具有反應(yīng)速度快,、效率高,、無殘留、無二次污染的優(yōu)點,。

臭氧滅菌主要依靠分解后或溶于水中產(chǎn)生的單原子氧(O)和羥基(OH)的強氧化能力,。臭氧首先與細胞壁和細胞膜的脂質(zhì)雙鍵發(fā)生反應(yīng)，然后通過細胞壁和細胞膜進入細胞,，它作用于外被脂蛋白和內(nèi)脂多糖漿,，改變內(nèi)膜的通透性，導(dǎo)致內(nèi)膜漏出,，終導(dǎo)致細胞裂解死亡,。

臭氧是一種強氧化劑，屬于消毒中的過氧化物消毒劑,，具有廣譜,、效率高的滅菌效果，對空氣微生物有強大的殺滅作用,，低于容許濃度(0.2mg/m)的臭氧，即對于一般細菌繁殖體,，臭氧發(fā)生器的滅菌效果非常明顯,，特別是在病房當(dāng)中。采用30mg/m 濃度的臭氧,，作用15分鐘,，對自然菌的殺滅率達到92% 以上，對氣溶膠中的金黃色葡萄球菌,，用0.12mg/m的臭氧作用30分種,，殺滅率可達99.9%以上；對氣溶膠中的枯草桿菌黑色變種芽胞,，用5.67mg/m的臭氧作用60分種,，殺滅率可達到99%以上。臭氧對付細菌的方法,，是將細菌的細胞體直接氧化,，即破壞其DNA的基因而達到抑制的效果。