工業(yè)廢水處理用臭氧發(fā)生器采用電暈放電技術(shù),，工業(yè)、生活和醫(yī)院廢水中產(chǎn)生的臭氧幾乎全部用于工業(yè)生產(chǎn),。產(chǎn)生的臭氧可用于含烷基苯磺酸鈉,、焦油、COD,、BOD,、污泥、氨氮等污染物廢水的初步處理,，也可用于含F(xiàn)e2+,、Mn2+、苯酚,、親水性染料,、細(xì)菌廢水的初步處理。隨著水資源的日益短缺,，工業(yè)和城市生活污水往往經(jīng)過(guò)處理后再利用,，因此有必要提高污水處理標(biāo)準(zhǔn)。通過(guò)臭氧深度處理,，可以去除水中的各種雜質(zhì),，達(dá)到回收標(biāo)準(zhǔn)。臭氧處理醫(yī)院污水可用于消毒滅菌,。

用工業(yè)廢水處理用臭氧發(fā)生器處理醫(yī)院污水,，可以切斷傳染源，解除后顧之憂,。而且臭氧可以在幾分鐘內(nèi)殺死所有病毒,，比等效氯快200~3000倍。城市污水處理系統(tǒng)工程也開始使用大型臭氧發(fā)生器對(duì)生活污水進(jìn)行滅菌除臭,。在循環(huán)冷卻水和鍋爐給水中,，需要對(duì)水進(jìn)行深度處理，臭氧可以去除形成污垢的雜質(zhì),，防止管道堵塞,。要達(dá)到這個(gè)目的，當(dāng)然首先要去除氨,，否則去除氨會(huì)分解殘留的臭氧,，不利于維持臭氧氧化效率,。一般來(lái)說(shuō)，殘余臭氧應(yīng)保持在約0.5毫克/升,，只有美國(guó)用臭氧處理循環(huán)冷卻水,，而包括中國(guó)在內(nèi)的其他國(guó)家還處于試驗(yàn)階段。飲用水采用臭氧消毒滅菌時(shí),，沒(méi)有有害殘留物（如致癌的鹵代有機(jī)化合物的氯消毒）,，對(duì)于提高飲用水的消毒質(zhì)量非常有效。