1.光化學(xué)法：光波發(fā)出紫外線,，將氧分子分解聚合成臭氧，從而產(chǎn)生大氣上方的臭氧層,。人工臭氧是一種利用光電技術(shù)產(chǎn)生的波長A=185nm（10~9m）的紫外光譜,，易被O2吸收，從而達(dá)到臭氧效應(yīng),，在美國被稱為臭氧燈,。光化學(xué)合成臭氧的優(yōu)點(diǎn)是純度高，對濕度和溫度不敏感,，重復(fù)性好,。這些特點(diǎn)非常適合臭氧作為人類治療和儀器中臭氧的標(biāo)準(zhǔn)來源，但缺點(diǎn)是能耗高,。

2.電化學(xué)電解：用DC電源電解含氧電解液產(chǎn)生臭氧氣體的方法,。20世紀(jì)80年代以前，由于對電極材料,、電解液和電解機(jī)理的大量研究,，人們在電解生產(chǎn)技術(shù)方面取得了很大的進(jìn)步,。目前純水電解可以生產(chǎn)高濃度臭氧，但電解面積小,，臭氧產(chǎn)量低,。電解產(chǎn)生的臭氧濃度高，成分純,，在水中溶解度高,，具有良好的應(yīng)用前景。

3.電暈放電法：電暈放電法是模仿自然閃電產(chǎn)生臭氧的方法,。電暈是人工在氣體中交變高壓電場產(chǎn)生的,，電暈中的自由高能離子離解O2分子，碰撞聚合成O3分子,。水處理電暈放電臭氧發(fā)生技術(shù)是一種應(yīng)用廣泛,、相對能耗低、臭氧產(chǎn)量高,、*高的臭氧發(fā)生器,。目前單機(jī)*產(chǎn)量300Kg/h，基于電暈放電原理,。這種方法通常消耗（1）氧氣源67千瓦時(shí)/千克O3,，和（2）空氣源14~16千瓦時(shí)/千克O3。電暈放電產(chǎn)生臭氧的裝置由四部分組成：高壓電極,、接地電極,、電介質(zhì)和放電間隙，以及采用冷卻和空氣源預(yù)處理技術(shù)的高濃度臭氧發(fā)生器,。