臭氧為混合氣體其濃度通常按質(zhì)量比和體積比來表示。質(zhì)量比是指單位體積內(nèi)混合氣體中含有多少質(zhì)量的臭氧,，常用單位mg/L、mg/m3或g/m3等表示,。體積比是指單位體積內(nèi)臭氧所占的體積含量或百分比含量,，使用百分比表示如2%、5%,、12%等,。衛(wèi)生行業(yè)常用ppm表示臭氧濃度，即每立方臭氧混合氣體中臭氧占該體積的百萬分之一為1ppm,。臭氧濃度是衡量臭氧發(fā)生器技術(shù)含量和性能的重要指標(biāo),。同等的工況條件下臭氧輸出濃度越高其品質(zhì)度就越高。

影響臭氧濃度的主要因素有：

1,、臭氧發(fā)生器的結(jié)構(gòu)和加工精度,；

2、冷卻方式和條件,；

3,、驅(qū)動電壓和驅(qū)動頻率；

4,、介電體材料,；

5、原料氣體中氧的含量及潔凈和干燥度,。

6,、發(fā)生器電源系統(tǒng)的效率（效率高，熱量轉(zhuǎn)化少）,。