臭氧的產(chǎn)生方式主要有：電暈法、電解法,、紫外線法,、核輻射法、等離子體法等等,。食品,、醫(yī)院及制藥等企業(yè)已經(jīng)投入應用的臭氧發(fā)生技術主要有電暈放電法和電解法,。

通常都借助無聲放電作用從氧氣或空氣制備臭氧，臭氧發(fā)生器即根據(jù)這一原理制造,。利用臭氧和氧氣沸點的差別,，通過分級液化可得濃集的臭氧。在紫外線輻射下,，通過電子放射或暴曬從雙原子氧氣可自然形成臭氧,。

工業(yè)上，用干燥的空氣或氧氣,，采用5 ~ 25 kV的交流電壓進行無聲放電制取,。另外，在低溫下電解稀硫酸,，或將液體氧氣加熱都可制得臭氧,。