通常臭氧的濃度用質(zhì)量比和體積比表示,。質(zhì)量比是指單位體積中臭氧的含量,，通常用mg/L或g/m3表示,。容積率是指單位體積內(nèi)臭氧的容積率，用百分比表示,，如2%、5%,、12%等,。一般醫(yī)療行業(yè)用ppm表示臭氧濃度，即每立方臭氧中臭氧含量的百萬分之一——臭氧氣體是百萬分之一,。臭氧氣體濃度是衡量臭氧發(fā)生器技術(shù)性能的重要指標(biāo),。相同條件下，臭氧輸出濃度越高,，臭氧質(zhì)量越高,。

影響臭氧濃度的主要因素如下：1.臭氧發(fā)生器的結(jié)構(gòu)和加工精度；2.冷卻方法和條件,；3.驅(qū)動(dòng)電壓和頻率,；4.電介質(zhì)數(shù)據(jù)；5.原料氣的含氧量,、清潔度和干燥度,。臭氧值是指單位時(shí)間內(nèi)臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的臭氧量；臭氧濃度的乘積,，即臭氧總量,；一般以毫克/小時(shí),、克/小時(shí)和千克/小時(shí)表示。在電解臭氧發(fā)生器的標(biāo)準(zhǔn)中,，臭氧發(fā)生器的標(biāo)準(zhǔn)模型是用臭氧的輸出值來表示和區(qū)分的,。使用g/h單位的小型臭氧發(fā)生器，使用kg/h單位的標(biāo)準(zhǔn)偏差,。