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美國(guó)Angstrom Sciences 高功率射頻圓形陰極
聯(lián)系張經(jīng)理:I8721868549(VX同號(hào))
美國(guó)Angstrom Sciences 高功率射頻圓形陰極
只要在結(jié)構(gòu)中納入特定的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn),,Angstrom Sciences 高功率射頻圓形磁控管就可以在研發(fā)和生產(chǎn)應(yīng)用中成功實(shí)施,。
Angstrom Sciences 高功率射頻圓形磁控管可直接冷卻,,外徑為2英寸-8英寸。
因?yàn)樯漕l功率在高頻下工作,,所以磁控濺射陰極的設(shè)計(jì)必須能夠控制這種功率,。Angstrom Sciences的高功率射頻磁控管設(shè)計(jì)用于在目標(biāo)表面均勻地傳遞射頻能量,同時(shí)提供低反射功率和射頻限制,。
高功率射頻磁控管有圓形和線性兩種配置,。
美國(guó)Angstrom Sciences 高功率射頻圓形陰極

美國(guó)Angstrom Sciences, 背板
濺射工藝中使用的背板對(duì)于為您的產(chǎn)品創(chuàng)造高質(zhì)量的薄膜沉積至關(guān)重要。我們提供標(biāo)準(zhǔn)配置和定制尺寸的背板,,以滿足您的特定要求,。我們還提供完整的粘合服務(wù),以提供完整的解決方案,。
Angstrom Sciences 提供定制的背板,,以適合任何制造商的陰極。我們的內(nèi)部加工能力使我們能夠根據(jù)原始設(shè)備規(guī)格或定制陰極尺寸制造全系列背板,,并具有質(zhì)量控制,。
在 Angstrom Sciences,,沒(méi)有訂單太小或太大。定制成分沒(méi)有最小批量要求,,我們對(duì)客戶服務(wù)的非凡關(guān)注令業(yè)界羨慕不已,。我們通常為平面、圓形和圓柱形濺射靶材提供背板(銅,、鉬,、銅鉻),為濺射靶材冷卻提供導(dǎo)電漿料和焊盤,,并提供鍵合服務(wù),,作為我們?yōu)?PVD 社區(qū)提供全面服務(wù)的一部分。

磁體映射套件
磁體映射套件提供了一種測(cè)量磁控管磁場(chǎng)并將其與磁體陣列的原始分布圖進(jìn)行比較的方法,。
可以提供磁成像套件,,使用戶能夠測(cè)量磁控管的場(chǎng)強(qiáng),并確定磁體陣列是否有足夠的損壞或退化以保證更換,。
隨著磁控濺射陰極中的磁場(chǎng)減弱,,工作電壓和工作壓力將增加,從而對(duì)薄膜質(zhì)量和均勻性產(chǎn)生負(fù)面影響,。
擁有磁性診斷工具將允許用戶確定過(guò)程偏移是由于磁控管還是其他原因引起的,。
磁成像套件由分布驗(yàn)證板、高斯計(jì)和探頭組成,。映射板設(shè)計(jì)為適合濺射陰極,,并鉆有沉頭孔,以便可以在目標(biāo)表面獲取讀數(shù),。這允許一致的放置,,并且讀數(shù)可以與每個(gè) Angstrom Sciences 磁控濺射陰極提供的原始磁圖進(jìn)行比較。