產(chǎn)品簡介
詳細介紹
BROOKS布魯克斯質(zhì)量流量計
SLM代表的含義是,,標準升每分鐘,,標準狀態(tài)是0℃ 一個標準大氣壓
SCCM是標準毫升每分鐘,
現(xiàn)在這種單位,,用作,,微小氣體流量計,以及控制器的流量單位,,廣泛應用于真空半導體行業(yè)
氣體質(zhì)bai量流量計為氣體質(zhì)量流量的檢測提供了可靠du的解決方案,,低流量敏感、快速zhi響應及dao量程比寬使得這款儀表成為許多重要氣體應用領(lǐng)域的選產(chǎn)品,、Steel-Trak傳感器自動溫度補償溫度和壓力,,使質(zhì)量流量輸出更加穩(wěn)定可靠。它在氣體測量方面的優(yōu)勢特別明顯,,尤其在壓力小,、氣體成分復雜的情況下。它同其他流量計相比有著壓力和溫度損失小,、量程比寬,、小量程段靈敏等優(yōu)點。
目前上氣體流量測量比較可靠和測量準確度較高的流量計是采用質(zhì)量流量計,,其中較為成熟的是b布魯克斯質(zhì)量流量計和熱式氣體質(zhì)量流量計,。科式質(zhì)量流量計有應用的障礙和難點,。
BROOKS布魯克斯質(zhì)量流量計
工況流bai量和標況流量通常是在計量氣體的時候會出du現(xiàn),,通俗的來講,標況流量是zhi在流量計有溫度壓dao力補償?shù)那闆r下同時又有具體壓力數(shù)的情況下計算出來。一般標況流量單位為Nm³/h,,工況流量計計量單位為m³/h
美國BROOKS布魯克斯公司熱式質(zhì)量流量計是為了滿足有關(guān)工藝過程中對測量精度,、重復性和控制方面的要求而設(shè)計的產(chǎn)品。