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七星華創(chuàng)氣體質(zhì)量流量計CS系列
CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設計的產(chǎn)品,，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法,，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝,，產(chǎn)品各項技術指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型,，C型GS氣路系統(tǒng),。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
七星華創(chuàng)氣體質(zhì)量流量計CS系列
CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設計的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上,，采用了基于DF的壓力信號補小償算法,，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項技術指標均嚴格按照SEM標準,，支持Ⅵ型,，C型GS氣路系統(tǒng)。
優(yōu)勢
• 準確度采用設定點精度,，產(chǎn)品精度可達±1.0% S.P.,，響應時間下限快≤ 0.5sec。
• CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補償功能,，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償,，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準確性,。
• 采用的恒功率傳感器原理,，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象,，保證了傳感器線性,。
• g端產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV,，CS300C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達5RA以下,，嚴格按照SEMI標準生產(chǎn)制造。
七星華創(chuàng)氣體質(zhì)量流量計CS系列汽車電子
在汽車裝飾鍍膜,、汽車噴涂,、零部件制造中會對氣體進行j準控制,，SEVENSTAR提供的產(chǎn)品可以滿足汽車工藝中對氣體使用的嚴格要求。
石油化工
SEVENSTAR提供耐高壓,、大量程的產(chǎn)品在石油冶煉,、催化裂解等工藝中使用，可滿足石化行業(yè)特殊環(huán)境的工作要求,。