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派克漢尼汾970系列不銹鋼隔膜閥提供高流量,，即0.70 CV值,，以及*的防止泄漏完整性,，使其非常適合用于超高純度半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用,，包括氣體控制箱、氣體控制柜和閥門分配箱系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
parker派克高流量不銹鋼隔膜閥 超凈應(yīng)用（UHP）-高流量不銹鋼隔膜閥-970系列 | #970AOPLPNOSSFS8FM
派克漢尼汾970系列不銹鋼隔膜閥提供高流量,，即0.70 CV值,，以及*的防止泄漏完整性，使其非常適合用于超高純度半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用,，包括氣體控制箱,、氣體控制柜和閥門分配箱系統(tǒng)
物品信息
作為儀器儀表流體控制系統(tǒng)技術(shù)的行業(yè)*，派克漢尼汾970系列不銹鋼隔膜閥提供高流量,，即0.70 CV值,，以及*的免泄漏完整性，使其非常適合用于超高純度半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用,，包括氣體控制箱,、氣體控制柜和閥門分配箱系統(tǒng)VMBS,。
970系列不銹鋼隔膜閥具有內(nèi)部和外部電拋光特性，從而在潤濕表面上產(chǎn)生表面光潔度,。這與其內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計(jì)相結(jié)合,，導(dǎo)致氣體捕獲電位降低和顆粒物生成更小化。閥體由VeliFro低硫,、高純度Vericlean™ 不銹鋼,，源自316L不銹鋼制成，具有長壽命和耐腐蝕性強(qiáng)的特點(diǎn),?？筛鼡Q式閥座，閥座是由PCTFE制造而成的,，具有優(yōu)異的關(guān)閉性能和較低的所有權(quán)成本,。
970系列不銹鋼隔膜閥在緊湊的封裝中提供高流量，即0.70 CV值,，這使得它適用于可工作空間受到限制的情況,，例如氣體控制箱、氣體控制柜和閥門分配箱系統(tǒng)（VMBS）,。它可以手動(dòng)或氣動(dòng)操作,，操作壓力上限分別為250和150 psig。
970系列不銹鋼閥門都是使用質(zhì)譜儀測試閥座和閥座之間的氦氣泄漏測試方法,，以實(shí)現(xiàn)泄漏完整性,，這是產(chǎn)品在應(yīng)用中的性能和穩(wěn)定性關(guān)重要的特點(diǎn)。
市場應(yīng)用：
• 半導(dǎo)體生產(chǎn)
• 分析實(shí)驗(yàn)室
• 藥物分析,，生產(chǎn)
• 生物危害
• 航空航天
parker派克高流量不銹鋼隔膜閥 特點(diǎn)/優(yōu)勢：
• 5微米英寸Ra的標(biāo)準(zhǔn)表面光潔度
• 流量容量＝0.70 CV值
• 高循環(huán)壽命
• 內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計(jì)使顆粒產(chǎn)生和氣體捕獲更小
• 內(nèi)部泄漏率：小于1×10-9 SCC/SEC（額定）
• 外部泄漏率：小于2×10-10SCC/SEC
• AOP氣動(dòng)壓力：標(biāo)稱70～125磅/英寸
• 內(nèi)部容積0.59毫升（包括面密封配件）
• 操作壓力可高達(dá)：250磅/英寸（手動(dòng)）,，150磅/英寸（AOP）
典型應(yīng)用：
• 腐蝕性和特殊性氣體
• 氣體控制箱
• 煤氣柜
• 閥門分配箱系統(tǒng)（VMB）