您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源 |
|---|
SM930 系列可供多種手動操作人員和氣動執(zhí)行器使用。提供良好的可靠性、泄露完整性和潔凈性,，使其成為UHP超高純半導(dǎo)體模塊化貼面安裝系統(tǒng)應(yīng)用的理想選擇。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
parker派克超純隔膜閥 UHP 超高純貼面安裝隔膜閥 – 手動或氣動 (真空 - 250 psig) – SM930 系列 | #SM930KS102VESP OBSOLETE
SM930 系列可供多種手動操作人員和氣動執(zhí)行器使用,。提供良好的可靠性,、泄露完整性和潔凈性，使其成為UHP超高純半導(dǎo)體模塊化貼面安裝系統(tǒng)應(yīng)用的理想選擇,。
物品信息
派克SM90系列貼面安裝不銹鋼閥體隔膜閥(1-1/8
和 1-1/2
閥體尺寸) 提供優(yōu)異的泄露完整性,、高循環(huán)壽命和低粒子生成，使其UHP超高純半導(dǎo)體應(yīng)用的理想選擇 (1-1/8 and 1-1/2 inch body sizes) ,。
SM930系列與工藝流體接觸部分無螺紋或彈簧,，大限度地減少粒子生成和氣體截留,，減少對半導(dǎo)體應(yīng)用關(guān)重要的過程污染,。閥門的嚴(yán)格設(shè)計控制閥座和膜片應(yīng)力，提供穩(wěn)定和無需維護(hù)使用壽命,。SM930系列接液部件由特殊金屬制備,，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄露完整性。閥體為內(nèi)部電解拋光Vericlean™ 316L不銹鋼,。Vericlean™ 是派克的UHP超高純級不銹鋼,。隔膜材料為高強(qiáng)度鈷基合金。SM930系列同時提供PCTFE, PEEK® 和Vespel® 閥座材料,，允許SM930與多種工藝流體兼容,。這些材料由SM955系列嚴(yán)格設(shè)計組成，使SM930系列具有強(qiáng)耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命,，入口壓力高達(dá)250 psig.
SM930系列氣動閥可配套限位開關(guān)或接近開關(guān)提供開-關(guān)位置指示,。也有多種閥體結(jié)構(gòu)，包括930Y（Y閥）和930（面密封和短管接口）.
SM930系列閥門的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試,，使用質(zhì)譜儀達(dá)到在苛刻超高純應(yīng)用中的性能和穩(wěn)定性.
市場:
• 半導(dǎo)體
• 分析試驗室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業(yè)
parker派克超純隔膜閥特點/優(yōu)勢:
• 有C和W密封貼面安裝1-1/8
和1-1/2
閥體尺寸
• 5微英寸(Ra粗糙度)電拋光表面處理
• 高循環(huán)壽命(包括腐蝕性工礦)
• 內(nèi)部無彈簧無螺紋,，大限度地減少粒子生成和氣體截留
• 壓力范圍：真空到250 psig
• 內(nèi)漏率:≤ 1 x 10-9 立方厘米/秒 He
• 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
• 常規(guī)氣動動作壓力75 psig
應(yīng)用:
• 腐蝕性和特殊氣體
• 半導(dǎo)體工具
• 工具掛鉤
• 氣體柜
• 閥組箱 (VMB)