型號

T81-50探針臺

T80-50探針臺

制冷方式

液氦/液氮制冷

閉循環(huán)制冷機

腔體材質(zhì)

無磁不銹鋼或者鋁合金

真空度

高真空10-8Pa

真空腔觀察窗尺寸

2inch（可選）

控溫范圍

4.2K-450K

5K-450K

控溫分辨率

0.001K控溫儀相關(guān)

溫度穩(wěn)定性

0.1K控溫儀相關(guān)

降溫時間

40min

150min內(nèi),，視制冷機功率定

溫度傳感器

硅二極管,、PT100（3個，樣品臺和探針臂和防輻射屏上各一個）

加熱電源

LVDC 低壓直流

樣品臺材質(zhì)

鍍金無氧銅

樣品臺尺寸

直徑20-50mm,，可選100mm

樣品臺平整度

≤7μm

樣品臺固定方式

固定的樣品臺（可升級隨位移臺移動）

樣品臺振動級別

≤50納米

≤1μm（三級減震）

探針臂數(shù)量

2個,、4個、6個,、8個可選

探針臂機械精度

±12.5mm(可升級±25mm),精度1μm（可選）

探針種類

鎢,、鈹銅、微波探針（可選高達67GHz的GSG探針）

探針調(diào)節(jié)

真空波紋管外部調(diào)節(jié),，手動控制

放大倍數(shù)

16~100X/20~4000X

顯微鏡行程

X,、Y平面2*2inch，精度1μm,，Z軸行程≥50.8mm

電力需求

220V 50-60Hz