手持式x射線熒光光譜儀主要是由激發(fā)源（X射線管）和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成，主要用于質(zhì)量控制的金屬合金辨別,、材料成分辨別,、廢料分揀、礦業(yè)勘探的地球化學(xué)分析和礦石品位控制,、危險(xiǎn)元素篩檢,、消費(fèi)商品和ROHS檢測(cè)，以及貴金屬的分析,。
手持式x射線熒光光譜儀原理：
X射線管通過產(chǎn)生入射X射線（一次X射線）,，來激發(fā)被測(cè)樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線（又叫X熒光）,，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性,。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量或者波長(zhǎng)。然后,，儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量,。元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長(zhǎng)的X射線,，因此,，只要測(cè)出熒光X射線的波長(zhǎng)或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ),。
此外,，熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系,。據(jù)此，可以進(jìn)行元素定量分析,。用X射線照射試樣時(shí)，試樣可以被激發(fā)出各種波長(zhǎng)的熒光X射線,，需要把混合的X射線按波長(zhǎng)（或能量）分開,，分別測(cè)量不同波長(zhǎng)（或能量）的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析,，為此使用的儀器叫X熒光光譜儀,。
該儀器是一種基于XRF光譜分析技術(shù)的光譜分析儀器，當(dāng)能量高于原子內(nèi)層電子結(jié)合能的高能X射線和原子發(fā)生碰撞的時(shí)候,，驅(qū)逐出一個(gè)內(nèi)層的電子從而出現(xiàn)一個(gè)空穴,，讓整個(gè)原子體系處于不穩(wěn)定狀態(tài)，當(dāng)較外層的電子躍遷到空穴時(shí),，產(chǎn)生一次光電子,，擊出的光子可能再次被吸收從而逐出較外層的另一個(gè)次級(jí)光電子，發(fā)生俄歇效應(yīng),，稱之次級(jí)光電效應(yīng)或無輻射效應(yīng),，而逐出的次級(jí)電子稱為俄歇電子。
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