鎢燈絲掃描電鏡的總發(fā)射電流和光斑大，抗干擾能力和穩(wěn)定性好,?？稍诘驼婵障虏怀潆妼Ψ菍щ姌悠愤M行成像，并可用于形貌觀察,、微觀結構分析,，以及斷囗形貌分析。
優(yōu)勢：
1,、操作簡單：設備結構相對簡單,，操作界面友好，易于上手,。維護和調試過程也相對簡單,，減少了操作人員的培訓成本和時間。
2,、適應性強：可以在相對較低的真空度下工作(<10Pa),，適用于多種不同類型的樣品。
3,、應用廣泛廣,，成本較低：鎢燈絲掃描電鏡的整體造價相對較低，適合預算有限的實驗室或研究機構,。維護和保養(yǎng)相對簡單且費用較低,，降低了長期運營成本。
缺點：
1,、分辨率有限：雖然鎢燈絲掃描電鏡的分辨率已經相對較高,，但相比于場發(fā)射掃描電鏡等設備，其分辨率仍有一定差距,。
2,、難以滿足對超高分辨圖像的需求，特別是在納米尺度下的精細結構觀察,。
3,、發(fā)射效率低：鎢燈絲的總發(fā)射束流雖大，但束流密度小,，發(fā)射效率低,。這可能導致信噪比較差,，影響圖像的清晰度和準確性,。
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