環(huán)境掃描電子顯微鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡，結(jié)合了傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡(SEM)和環(huán)境控制技術(shù),。與常規(guī)掃描電子顯微鏡相比,，它能夠在較高的氣壓下進(jìn)行成像，因此可以觀察到許多傳統(tǒng)掃描電鏡無法觀察的樣品,，如含水樣品,、生物樣品和某些濕氣或易揮發(fā)的物質(zhì)。
環(huán)境掃描電子顯微鏡的基本工作原理與傳統(tǒng)的掃描電子顯微鏡類似,，都是通過電子束與樣品相互作用,，產(chǎn)生各種信號(hào)來進(jìn)行成像和分析。它在樣品表面周圍創(chuàng)建了一個(gè)可控的環(huán)境,，使得樣品可以在較高的氣壓下進(jìn)行觀察,，而不需要在真空環(huán)境中進(jìn)行。
具體來說,，環(huán)境掃描電子顯微鏡的工作流程包括以下幾個(gè)步驟：
1,、電子束產(chǎn)生
電子束的產(chǎn)生是工作原理中的首要步驟。電子束通常由電子槍產(chǎn)生,，該電子槍會(huì)加速電子至高能狀態(tài),。這些高能電子通過電磁透鏡聚焦成一個(gè)細(xì)小的電子束，并射向樣品表面,。電子束在與樣品表面相互作用時(shí),，會(huì)產(chǎn)生多種信號(hào)，其中包括二次電子,、背散射電子,、X射線等，這些信號(hào)可以被探測(cè)器捕獲,，從而形成樣品的圖像或獲取樣品的元素信息,。
2、樣品的環(huán)境控制
傳統(tǒng)的掃描電鏡工作時(shí),，樣品通常需要被置于高真空環(huán)境中,，這樣能夠避免空氣分子與電子束發(fā)生干擾,。然而，這樣的環(huán)境會(huì)導(dǎo)致一些濕度較高的或易揮發(fā)的樣品發(fā)生形變,，甚至被破壞,。而它能夠在一定氣壓和濕度條件下進(jìn)行樣品觀察。
3,、信號(hào)檢測(cè)與成像
通過探測(cè)由電子束與樣品相互作用后產(chǎn)生的信號(hào),，構(gòu)建出樣品的高分辨率圖像。常見的信號(hào)檢測(cè)器包括二次電子探測(cè)器,、背散射電子探測(cè)器和X射線探測(cè)器等。通過這些探測(cè)器收集信號(hào),，并經(jīng)過放大,、轉(zhuǎn)換，最終呈現(xiàn)出樣品表面的圖像,。
環(huán)境掃描電子顯微鏡通過將樣品置于控制環(huán)境中,，克服了傳統(tǒng)掃描電鏡中無法處理濕態(tài)和易揮發(fā)樣品的問題。同時(shí)在環(huán)境控制和樣品保護(hù)方面有顯著的優(yōu)勢(shì),，使其在生命科學(xué),、材料科學(xué)、地質(zhì)學(xué),、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,。
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