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　　SEM掃描電鏡利用電子束對樣品進(jìn)行納米級分辨率的圖像分析,。燈絲釋放出電子,，形成平行的電子束。然后,，電子束通過透鏡聚焦于樣品表面,。可應(yīng)用于微觀形貌,、顆粒尺寸,、微區(qū)組成、元素分布,、元素價態(tài)和化學(xué)鍵,、晶體結(jié)構(gòu)、相組成,、結(jié)構(gòu)缺陷,、晶界結(jié)構(gòu)和組成等。

　　SEM掃描電鏡通過光柵掃描技術(shù)來產(chǎn)生標(biāo)本的放大圖像,。它引導(dǎo)聚焦的電子束穿過樣品的矩形區(qū)域,，當(dāng)電子束通過時會產(chǎn)生能量損失。該能量會被轉(zhuǎn)換成熱,、光,、二次電子等能量同時反向散射電子。此時通過軟件系統(tǒng)進(jìn)行翻譯轉(zhuǎn)換后得到清晰的標(biāo)本圖像信息,。從成像原理分析,，掃描電子顯微鏡的分辨率會比透射電子顯微鏡的分辨率稍差。但它的優(yōu)勢在于可以利用表面處理,，創(chuàng)建大樣本的圖像,，尺寸可達(dá)幾厘米，并且具有較大的景深,。

　　SEM掃描電鏡的優(yōu)點：

　　1,、有較高的放大倍數(shù)，20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào),；

　　2、有很大的景深,，視野大,，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；

　　3,、試樣制備簡單,。