高分辨率掃描電鏡是利用極細(xì)的電子束在樣品表面進(jìn)行掃描,，激發(fā)出各種信號，通過這些信號來獲得材料表面形貌,、組成及其他性質(zhì)的信息的一種顯微鏡,。其主要由以下部件組成：
1、電子槍：電子槍是產(chǎn)生電子的源,，通常采用熱發(fā)射或場發(fā)射方式工作,。在高分辨率掃描電鏡中，場發(fā)射電子槍因其能夠產(chǎn)生高亮度和高相干性的電子束而更常被使用,。
2,、電磁透鏡系統(tǒng)：包括會聚透鏡、物鏡和掃描線圈,。會聚透鏡用于聚焦電子束至微小直徑,，物鏡則進(jìn)一步將電子束聚焦到樣品上，而掃描線圈控制電子束在樣品表面的掃描路徑,。
3,、樣品室：樣品室內(nèi)部可以容納樣品并進(jìn)行精確的位置控制，同時保持高真空環(huán)境,，以減少空氣分子對電子束的散射和對樣品的污染,。
4、真空系統(tǒng)：為了確保電子在傳輸過程中不受空氣分子影響,，并且保護電子源和探測器等敏感組件,，需要維持高真空狀態(tài)。
5,、二次電子探測器：當(dāng)電子束照射到樣品上時,，會產(chǎn)生二次電子，這些電子攜帶著樣品表面的形貌信息,。通過收集并分析這些二次電子信號,，可以獲得樣品的表面圖像。
6,、背散射電子探測器：背散射電子是入射電子與樣品原子核相互作用后反射回來的電子,。這些電子的信號可以用來分析樣品的成分信息,。
7、樣品制備設(shè)備：根據(jù)所研究的樣品類型,，可能需要特殊的制備方法,，如離子減薄、斷裂,、切割等,，以保證樣品能夠在電子顯微鏡下得到清晰的成像。
其設(shè)計和性能可能會因不同的制造商和型號而異,，但上述部件是構(gòu)成大多數(shù)高分辨率掃描電鏡的基本組成部分,。
6
立即詢價
您提交后,，專屬客服將第一時間為您服務(wù)