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雙束掃描電鏡（FIB-SEM）的工作原理是將聚焦離子束（Focused Ion Beam, FIB）和掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope, SEM）結(jié)合在一起,，是一種集微區(qū)成像、加工,、分析,、操縱于一體的功能強大的綜合型分析與表征設(shè)備，具有成像和加工兩個系統(tǒng),。這種設(shè)備可以在SEM實時觀測下,，使用FIB對樣品進行微米至納米級別的精確加工。

雙束掃描電鏡在科研,、工業(yè)等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用：
1,、生命科學研究：利用雙束掃描電鏡對動植物細胞、組織,、微生物等進行超微結(jié)構(gòu)觀察,，研究細胞內(nèi)部結(jié)構(gòu)的變化和功能機制。
2,、材料科學：用于研究各種材料的微觀結(jié)構(gòu)和性能，如金屬,、陶瓷,、復(fù)合材料等。通過離子束刻蝕和沉積技術(shù),，可以在材料表面進行微納級別的加工和制備,。
3、集成電路制造：在集成電路和芯片設(shè)計制造中,，利用雙束掃描電鏡進行高分辨實時觀察和微納尺度圖形的精細加工,，實現(xiàn)電路修補、材料微納復(fù)雜圖形的加工和制備等,。
4,、環(huán)境監(jiān)測：用于分析土壤,、水體等環(huán)境樣品中的微小顆粒、污染物等物質(zhì)的分布和形態(tài),。
5,、地質(zhì)學：用于研究巖石、礦物,、古生物等地質(zhì)樣品的微觀結(jié)構(gòu)和形成過程,。
6、醫(yī)學領(lǐng)域：雙束掃描電鏡可以用于觀察細胞和組織的細微結(jié)構(gòu),，輔助疾病的診斷和治療,。