FIB雙束電鏡是一種先進(jìn)的顯微鏡技術(shù),，結(jié)合了離子束和電子束的特點和功能,。它可以同時提供離子束刻蝕和電子顯微鏡成像功能，廣泛應(yīng)用于納米加工,、樣品制備和三維顯微鏡觀察等領(lǐng)域,。
FIB雙束電鏡的原理基于兩個主要組件：離子槍和電子顯微鏡。
離子槍通過加速電場將離子束產(chǎn)生并聚焦到非常小的直徑,，通常在幾奈米至數(shù)十納米的范圍內(nèi),。離子束主要由高能離子組成，如加速電壓可達(dá)幾千伏特,。離子束可以通過控制離子束的掃描和剝蝕模式對樣品進(jìn)行刻蝕,、切割和修復(fù)等加工操作。這對于納米器件的制造以及樣品的準(zhǔn)備具有重要意義,。
電子顯微鏡部分則使用電子束來進(jìn)行成像,。電子束經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)的聚焦和激發(fā)后，在樣品表面或內(nèi)部與樣品中的原子或分子相互作用,。這些相互作用導(dǎo)致電子的散射,、透射和反射等變化，從而形成顯微鏡圖像,。電子顯微鏡可以提供高分辨率的顯微鏡圖像,，并在納米尺度上顯示樣品的細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)。
FIB雙束電鏡的工作方式通常涉及以下步驟：
1,、樣品加載：將待觀察或加工的樣品放置在臺架上,，并確保其穩(wěn)定和準(zhǔn)確定位。
2,、刻蝕操作：通過控制離子束的掃描模式和能量,，在樣品表面選擇性地剝蝕材料，以實現(xiàn)刻蝕,、切割或修復(fù)等加工操作,。離子束可以精確地去除或改變樣品的某些區(qū)域。
3,、電子顯微鏡成像：在進(jìn)行刻蝕操作的同時,，使用電子束對樣品進(jìn)行成像。電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的信號會被檢測器捕捉,，并轉(zhuǎn)換為圖像顯示,。這些圖像可以提供有關(guān)樣品表面形貌、組織結(jié)構(gòu)和元素分布等信息,。
4,、控制和調(diào)整：操作人員可以根據(jù)需要調(diào)整離子束和電子束的參數(shù)，如聚焦,、加速電壓和掃描模式等,，以優(yōu)化成像或加工效果。
FIB雙束電鏡的優(yōu)點在于它能夠在同一設(shè)備中結(jié)合離子束刻蝕和電子顯微鏡成像的功能,。這使得樣品的準(zhǔn)備和觀察變得更加高效和方便,。同時，由于具有高分辨率的電子顯微鏡功能,，對于納米尺度的觀察和操作非常有用,，比傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡和離子束刻蝕技術(shù)更加靈活和精確。
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