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　　等離子清洗機(jī)清洗原理是,，通過利用等離子體的“活性”組分的性質(zhì)來處理樣品表面,，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的,。在真空腔體里,，通過射頻電源在一定的壓力情況下起會產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面,，以達(dá)到清洗目的,。

　　等離子體和固體、液體或氣體一樣,，是物質(zhì)的一種狀態(tài),，也叫做物質(zhì)的第四態(tài),。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài),。等離子體的"活性"組分包括：離子、電子,、活性基團(tuán),、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等,。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性,、光刻膠灰化等目的,。

　　等離子清洗機(jī)也叫等離子清潔機(jī)，或者等離子表面處理儀,，是一種全新的高科技技術(shù),，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),，也叫做物質(zhì)的第四態(tài),，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài),。等離子體的“活性”組分包括：離子,、電子、原子,、活性基團(tuán),、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等,。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的,。