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　　等離子清洗機(jī)清洗原理是，通過(guò)利用等離子體的“活性”組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,，從而實(shí)現(xiàn)清潔,、涂覆等目的。在真空腔體里,，通過(guò)射頻電源在一定的壓力情況下起會(huì)產(chǎn)生高能量的無(wú)序的等離子體,，通過(guò)等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，以達(dá)到清洗目的,。

　　等離子體和固體,、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài),，也叫做物質(zhì)的第四態(tài),。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括：離子,、電子,、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）,、光子等,。等離子體表面處理儀就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔,、改性,、光刻膠灰化等目的。

　　等離子清洗機(jī)也叫等離子清潔機(jī),，或者等離子表面處理儀,，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來(lái)達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果,。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見(jiàn)的固液氣三態(tài),。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài),。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子,、原子,、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）,、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,，從而實(shí)現(xiàn)清潔,、涂覆等目的。