聚焦離子束電鏡通過結(jié)合相應(yīng)的氣體沉積裝置,，納米操縱儀,，各種探測器及可控的樣品臺(tái)等附件成為一個(gè)集微區(qū)成像、加工,、分析,、操縱于一體的分析儀器。其應(yīng)用范圍也已經(jīng)從半導(dǎo)體行業(yè)拓展至材料科學(xué),、生命科學(xué)和地質(zhì)學(xué)等眾多領(lǐng)域,。
聚焦離子束電鏡的工作原理：
典型的離子束顯微鏡包括液態(tài)金屬離子源及離子引出極、預(yù)聚焦極,、聚焦極所用的高壓電源,、電對(duì)中、消像散電子透鏡,、掃描線圈,、二次粒子檢測器、可移動(dòng)的樣品基座,、真空系統(tǒng),、抗振動(dòng)和磁場的裝置、電路控制板和電腦等硬件設(shè)備,。
外加電場于液態(tài)金屬離子源,，可使液態(tài)鎵形成細(xì)小，再加上負(fù)電場牽引的鎵,，而導(dǎo)出鎵離子束,。在一般工作電壓下，電流密度約為10-8A/cm2,，以電透鏡聚焦，經(jīng)過可變孔徑光闌,，決定離子束的大小,，再經(jīng)過二次聚焦以很小的束斑轟擊樣品表面，利用物理碰撞來達(dá)到切割的目的,，離子束到達(dá)樣品表面的束斑直徑可達(dá)到7納米,。
聚焦離子束電鏡的技術(shù)特點(diǎn)：
1、最高束流可以達(dá)到100nA,且加工性能優(yōu)異,?？梢詫?shí)現(xiàn)快速切割和納米加工。
2、最高分辨率小于3nm,，可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)加工,，并顯示優(yōu)異的FIB成像質(zhì)量。
3,、電壓范圍在500V-30KV可調(diào),，可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)拋光，降低樣品表面非晶層厚度,。
4,、離子源比較穩(wěn)定，使用壽命長,。
5,、與SEM鏡筒配合，可以實(shí)現(xiàn)FIB加工過程中可以利用SEM進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察,。
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