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　　掃描電鏡顯微鏡是自上世紀60年代作為商用電鏡面世以來迅速發(fā)展起來的一種新型的電子光學儀器,，被廣泛地應用于化學,、生物,、醫(yī)學、冶金,、材料、半導體制造,、微電路檢查等各個研究領域和工業(yè)部門,。如圖1所示,，是掃描電子顯微鏡的外觀圖,。
 

　　掃描電鏡顯微鏡對掃描樣本的要求，主要包括以下幾個方面：
 

　　1,、形貌形態(tài),，必須耐高真空
 

　　例如有些含水量很大的細胞,，在真空中很快被抽干水分,，細胞的形態(tài)也發(fā)生了改變,，無法對各類型細胞進行區(qū)分,。
 

　　2、樣品表面不能含有有機油脂類污染物
 

　　油污在電子束作用下容易分解成碳氫化物,，對真空環(huán)境造成極大污染,。樣品表面細節(jié)被碳氫化合物遮蓋,；碳氫化合物降低了成像信號產(chǎn)量,；碳氫化合物吸附在電子束光路引起極大象散,；碳氫化合物被吸附在探測器晶體表面,，降低探測器效率,。對低加速電壓的電子束干擾嚴重。
 

　　3,、樣品必須為干燥
 

　　水蒸氣會加速電子槍陰極材料的揮發(fā),，從而極大降低燈絲壽命；水蒸氣會散射電子束,，增加電子束能量分散,，從而增大色差，降低分辨能力,。
 

　　4、樣品表面必需導電
 

　　在大多數(shù)情況下,，初級電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和,，因此多余的電子必須導入地下，即樣品表面電位必須保持在0電位,。如果樣品表面不導電,，或者樣品接地線斷裂，那么樣品表面靜電荷存在,，使得表面負電勢不斷增加,，出現(xiàn)充電效應，使圖像畸變,，入射電子束減速,，此時樣品如同一個電子平面鏡。