球差電鏡,，什么是球差？球差是像差的一種,，是影響TEM分辨率的主要原因之一,。由于像差(球差、像散,、彗形像差和色差)的存在,，無(wú)論是光學(xué)透鏡還是電磁透鏡，其透鏡系統(tǒng)都無(wú)法做到,。光學(xué)透鏡中,，可通過(guò)將凸透鏡和凹透鏡組合使用來(lái)減少由凸透鏡邊緣匯聚能力強(qiáng)中心匯聚能力弱所致的所有的光線(電子)無(wú)法匯聚到一個(gè)焦點(diǎn)的缺點(diǎn)，可對(duì)于電磁透鏡,，我們沒(méi)有凹透鏡,，球差便成了影響TEM分辨率最主要也最難解決的問(wèn)題。
球差電鏡,，球差是由什么產(chǎn)生的,？TEM中包含多個(gè)磁透鏡：聚光鏡、物鏡,、中間鏡和投影鏡等,。球差是由于磁鏡的構(gòu)造不好造成的，這些磁鏡組都會(huì)產(chǎn)生球差,。當(dāng)我們矯正不同的磁透鏡就有了不同種類的ACTEM,。當(dāng)我們使用STEM模式時(shí)，聚光鏡會(huì)聚電子束掃描樣品成像,，此時(shí)聚光鏡球差是影響分辨率的主要原因,。因此，以做STEM為主的TEM，球差校正裝置會(huì)安裝在聚光鏡位置,，即為AC-STEM,。而當(dāng)我們使用image模式時(shí)，影響成像分辨率的主要是物鏡的球差,，此種校正器安裝在物鏡位置的即為AC-TEM,。當(dāng)然也有在一臺(tái)TEM上安裝兩個(gè)校正器的，就是所謂的雙球差校正TEM,。
球差電鏡安裝了物鏡矯正器或者聚光鏡矯正器,，消除了一些透鏡系統(tǒng)中存在的球面像差，將透射電鏡的分辨率提高到了亞埃級(jí),。它可以在兩種模式下工作,，分別是“TEM模式”和“STEM模式”，在TEM下更多是觀察形貌,，在STEM模式下,，可以做EDS和EELS成分線掃和mapping。
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